国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

深圳市京都玉崎電子有限公司

中級(jí)會(huì)員·3年

聯(lián)系電話

13717032088

您現(xiàn)在的位置: 首頁> 技術(shù)文章 > 半導(dǎo)體曝光設(shè)備原理

熱賣!優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品

熱賣!SAKAMOTO坂本電機(jī)

熱賣!HAYASHI林時(shí)計(jì)

熱賣!ORC歐阿西

熱賣!NARISHIGE成茂

熱賣!MACOME碼控美

熱賣!TKD武田

熱賣!HIKARIYA光屋

熱賣!YODOGAWA淀川

熱賣!AND愛安德

SANKO山高

KYOWA共和

MITUTOYO三豐

CS-PUMP真空泵

LINE萊恩

KEIYO京葉

CHINO千野

REVOX萊寶克斯

DKK東亞電波

HEIDON新東科學(xué)

EYE巖崎

中級(jí)會(huì)員·3年
聯(lián)人:
袁蘭香
話:
13717032088
機(jī):
13717032088
真:
86-755-28578000
址:
龍華新區(qū)梅龍大道906號(hào)創(chuàng)業(yè)樓
個(gè)化:
www.cucudi.com
網(wǎng)址:
www.tamasaki.cn

掃一掃訪問手機(jī)商鋪

半導(dǎo)體曝光設(shè)備原理

2024-11-14  閱讀(444)

分享:

半導(dǎo)體曝光設(shè)備由光源、聚光透鏡、光掩模、投影透鏡和載物臺(tái)組成。從光源發(fā)出的紫外光通過聚光透鏡調(diào)整,使其指向同一方向。之后,紫外光穿過作為構(gòu)成電路圖案的一層的原型的光掩模,并通過投影透鏡減少光線,將半導(dǎo)體元件的電路圖案(的一層)轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體元件上。馬蘇。在諸如步進(jìn)機(jī)之類的曝光設(shè)備中,在完成一次轉(zhuǎn)移之后,通過平臺(tái)移動(dòng)硅晶片,并將相同的電路圖案轉(zhuǎn)移到硅晶片上的另一位置。通過更換光掩模,可以轉(zhuǎn)印半導(dǎo)體器件的另一層電路圖案。


所使用的光源包括波長(zhǎng)為248 nm的KrF準(zhǔn)分子激光器、波長(zhǎng)為193 nm的ArF準(zhǔn)分子激光器以及波長(zhǎng)為13 nm的EUV光源。


最新半導(dǎo)體制造工藝的設(shè)計(jì)規(guī)則(最小加工尺寸)越來越細(xì)化至3至5納米左右,因此聚光透鏡、光掩模、投影透鏡和平臺(tái)都需要納米級(jí)的高精度。此外,隨著層壓的進(jìn)行,進(jìn)行多次曝光以改變電路圖案并形成單個(gè)半導(dǎo)體。


會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
產(chǎn)品對(duì)比 二維碼

掃一掃訪問手機(jī)商鋪

對(duì)比框

在線留言
香河县| 铁岭市| 南皮县| 蓬溪县| 澄迈县| 合水县| 樟树市| 南投市| 静乐县| 洞头县| 福清市| 宁德市| 武宣县| 海丰县| 红安县| 丽江市| 黔江区| 灵山县| 隆安县| 嘉定区| 灵石县| 拉萨市| 龙川县| 静海县| 芒康县| 淳安县| 班玛县| 安阳县| 太保市| 武平县| 城口县| 天津市| 常山县| 砚山县| 临潭县| 冀州市| 永泰县| 南阳市| 扶沟县| 龙川县| 德阳市|