国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

深圳市京都玉崎電子有限公司

中級會員·3年

聯(lián)系電話

13717032088

您現(xiàn)在的位置: 首頁> 技術(shù)文章 > 半導(dǎo)體曝光設(shè)備原理

熱賣!優(yōu)勢產(chǎn)品

熱賣!SAKAMOTO坂本電機(jī)

熱賣!HAYASHI林時(shí)計(jì)

熱賣!ORC歐阿西

熱賣!NARISHIGE成茂

熱賣!MACOME碼控美

熱賣!TKD武田

熱賣!HIKARIYA光屋

熱賣!YODOGAWA淀川

熱賣!AND愛安德

SANKO山高

KYOWA共和

MITUTOYO三豐

CS-PUMP真空泵

LINE萊恩

KEIYO京葉

CHINO千野

REVOX萊寶克斯

DKK東亞電波

HEIDON新東科學(xué)

EYE巖崎

中級會員·3年
聯(lián)人:
袁蘭香
話:
13717032088
機(jī):
13717032088
真:
86-755-28578000
址:
龍華新區(qū)梅龍大道906號創(chuàng)業(yè)樓
個(gè)化:
www.cucudi.com
網(wǎng)址:
www.tamasaki.cn

掃一掃訪問手機(jī)商鋪

半導(dǎo)體曝光設(shè)備原理

2024-11-14  閱讀(441)

分享:

半導(dǎo)體曝光設(shè)備由光源、聚光透鏡、光掩模、投影透鏡和載物臺組成。從光源發(fā)出的紫外光通過聚光透鏡調(diào)整,使其指向同一方向。之后,紫外光穿過作為構(gòu)成電路圖案的一層的原型的光掩模,并通過投影透鏡減少光線,將半導(dǎo)體元件的電路圖案(的一層)轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體元件上。馬蘇。在諸如步進(jìn)機(jī)之類的曝光設(shè)備中,在完成一次轉(zhuǎn)移之后,通過平臺移動(dòng)硅晶片,并將相同的電路圖案轉(zhuǎn)移到硅晶片上的另一位置。通過更換光掩模,可以轉(zhuǎn)印半導(dǎo)體器件的另一層電路圖案。


所使用的光源包括波長為248 nm的KrF準(zhǔn)分子激光器、波長為193 nm的ArF準(zhǔn)分子激光器以及波長為13 nm的EUV光源。


最新半導(dǎo)體制造工藝的設(shè)計(jì)規(guī)則(最小加工尺寸)越來越細(xì)化至3至5納米左右,因此聚光透鏡、光掩模、投影透鏡和平臺都需要納米級的高精度。此外,隨著層壓的進(jìn)行,進(jìn)行多次曝光以改變電路圖案并形成單個(gè)半導(dǎo)體。


會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
產(chǎn)品對比 二維碼

掃一掃訪問手機(jī)商鋪

對比框

在線留言
南皮县| 房产| 托里县| 通海县| 大宁县| 根河市| 辽宁省| 高密市| 万荣县| 衡水市| 永兴县| 蓬莱市| 泉州市| 临潭县| 宜兴市| 江油市| 浏阳市| 拉萨市| 平湖市| 子长县| 长白| 宁武县| 霍州市| 安国市| 扎兰屯市| 庄河市| 霍林郭勒市| 华蓥市| 东方市| 九江市| 上栗县| 兴和县| 武安市| 温宿县| 慈利县| 隆尧县| 即墨市| 宝兴县| 哈密市| 岐山县| 鲜城|