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傾斜傳感器原理

2024-11-22  閱讀(447)

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傾斜傳感器是一種通過在物體傾斜時(shí)產(chǎn)生電輸出來檢測物體傾斜的裝置。由于傾斜可能沿一軸、二軸和三軸發(fā)生,因此根據(jù)要檢測的傾斜軸的數(shù)量選擇傾斜傳感器非常重要。


此外,近年來,傾斜傳感器已從常用的在檢測到傾斜時(shí)打開和關(guān)閉的開關(guān)型傳感器轉(zhuǎn)變?yōu)榻Y(jié)合傳感技術(shù)的傳感器。傾斜傳感器的傾斜檢測方法包括電解質(zhì)型和MEMS型,這兩種方法從一開始就被使用。近年來,MEMS方法在精度和響應(yīng)時(shí)間方面已成為主流。


1.電解質(zhì)傾斜傳感器(電容傾斜傳感器) 

電解質(zhì)型傾斜傳感器利用液體表面始終水平的特性,并通過電容的變化來檢測液體的傾斜。具體而言,將電解液(導(dǎo)電性液體)封入到具有長度的一半程度的深度的空腔的筒體內(nèi),并且將在長度方向上相對的電極板密封。


換句話說,相應(yīng)的電極大約其一半長度浸入電解質(zhì)中。當(dāng)圓柱體沿其長度傾斜,同時(shí)在電極板之間施加電壓時(shí),空腔中的電解質(zhì)保持水平,導(dǎo)致浸入液體中的相對電極部分的差異,電路中的內(nèi)阻發(fā)生變化。 。電解質(zhì)傾斜傳感器的傾斜檢測是通過檢測該電路的內(nèi)阻變化并將其轉(zhuǎn)換為角度來執(zhí)行的。


但缺點(diǎn)是響應(yīng)時(shí)間比較慢,液位容易受振動(dòng)影響。電解質(zhì)傾斜傳感器可以通過布置兩對彼此垂直的檢測電極來檢測兩個(gè)軸上的傾斜。


2. MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傾斜傳感器

MEMS傾斜傳感器是利用微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的傾斜傳感器。通過因傾斜而導(dǎo)致的部件彎曲來檢測傾斜,從而產(chǎn)生電輸出。 MEMS傾斜傳感器具有固定在主體內(nèi)部的一對固定電極以及由彈簧支撐在該對固定電極之間的可動(dòng)電極。


當(dāng)MEMS傾斜傳感器繞固定電極和可動(dòng)電極的支撐方向傾斜時(shí),固定電極不移動(dòng)而可動(dòng)電極沿傳感器傾斜的方向移動(dòng)。即,各固定電極與可動(dòng)電極之間的電容發(fā)生變化。 MEMS 傾斜傳感器的機(jī)制是檢測電容的變化并將其轉(zhuǎn)換為角度。


通過將可移動(dòng)電極垂直于 XY 方向放置并將每個(gè)電極夾在一對固定電極之間,可以檢測兩個(gè)軸的傾斜。


3.其他方法

傾斜傳感器中使用的其他方法包括擺錘和石英。


擺式傾斜傳感器

擺錘型傾斜傳感器在主體內(nèi)部具有擺錘和磁阻元件等檢測部。擺錘傾斜傳感器檢測主體傾斜時(shí)擺錘運(yùn)動(dòng)引起的磁場變化,并將其計(jì)算為傾斜角度。


晶體傾斜傳感器

晶體傾斜傳感器是一種利用晶體振蕩器特性的高靈敏度傾斜傳感器。由晶體制成的懸臂和保持部在一端彼此相對地固定,并且電極設(shè)置在懸臂和保持部的每一個(gè)上。


當(dāng)傳感器傾斜時(shí),保持部分不會(huì)彎曲,而懸臂會(huì)彎曲。當(dāng)懸臂彎曲時(shí),電極板之間的距離發(fā)生變化,電容也發(fā)生變化,而晶體傾斜傳感器的機(jī)制是測量電容作為頻率的變化。電容到頻率的轉(zhuǎn)換是通過將傾斜傳感器與晶體振蕩器和振蕩電路相結(jié)合來實(shí)現(xiàn)的。



 


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