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傾斜傳感器是一種通過在物體傾斜時(shí)產(chǎn)生電輸出來檢測(cè)物體傾斜的裝置。由于傾斜可能沿一軸、二軸和三軸發(fā)生，因此根據(jù)要檢測(cè)的傾斜軸的數(shù)量選擇傾斜傳感器非常重要。
此外，近年來，傾斜傳感器已從常用的在檢測(cè)到傾斜時(shí)打開和關(guān)閉的開關(guān)型傳感器轉(zhuǎn)變?yōu)榻Y(jié)合傳感技術(shù)的傳感器。傾斜傳感器的傾斜檢測(cè)方法包括電解質(zhì)型和MEMS型，這兩種方法從一開始就被使用。近年來，MEMS方法在精度和響應(yīng)時(shí)間方面已成為主流。
1.電解質(zhì)傾斜傳感器（電容傾斜傳感器）
電解質(zhì)型傾斜傳感器利用液體表面始終水平的特性，并通過電容的變化來檢測(cè)液體的傾斜。具體而言，將電解液（導(dǎo)電性液體）封入到具有長(zhǎng)度的一半程度的深度的空腔的筒體內(nèi)，并且將在長(zhǎng)度方向上相對(duì)的電極板密封。
換句話說，相應(yīng)的電極大約其一半長(zhǎng)度浸入電解質(zhì)中。當(dāng)圓柱體沿其長(zhǎng)度傾斜，同時(shí)在電極板之間施加電壓時(shí)，空腔中的電解質(zhì)保持水平，導(dǎo)致浸入液體中的相對(duì)電極部分的差異，電路中的內(nèi)阻發(fā)生變化。 。電解質(zhì)傾斜傳感器的傾斜檢測(cè)是通過檢測(cè)該電路的內(nèi)阻變化并將其轉(zhuǎn)換為角度來執(zhí)行的。
但缺點(diǎn)是響應(yīng)時(shí)間比較慢，液位容易受振動(dòng)影響。電解質(zhì)傾斜傳感器可以通過布置兩對(duì)彼此垂直的檢測(cè)電極來檢測(cè)兩個(gè)軸上的傾斜。
2. MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傾斜傳感器
MEMS傾斜傳感器是利用微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的傾斜傳感器。通過因傾斜而導(dǎo)致的部件彎曲來檢測(cè)傾斜，從而產(chǎn)生電輸出。 MEMS傾斜傳感器具有固定在主體內(nèi)部的一對(duì)固定電極以及由彈簧支撐在該對(duì)固定電極之間的可動(dòng)電極。
當(dāng)MEMS傾斜傳感器繞固定電極和可動(dòng)電極的支撐方向傾斜時(shí)，固定電極不移動(dòng)而可動(dòng)電極沿傳感器傾斜的方向移動(dòng)。即，各固定電極與可動(dòng)電極之間的電容發(fā)生變化。 MEMS 傾斜傳感器的機(jī)制是檢測(cè)電容的變化并將其轉(zhuǎn)換為角度。
通過將可移動(dòng)電極垂直于 XY 方向放置并將每個(gè)電極夾在一對(duì)固定電極之間，可以檢測(cè)兩個(gè)軸的傾斜。
3.其他方法
傾斜傳感器中使用的其他方法包括擺錘和石英。
擺式傾斜傳感器
擺錘型傾斜傳感器在主體內(nèi)部具有擺錘和磁阻元件等檢測(cè)部。擺錘傾斜傳感器檢測(cè)主體傾斜時(shí)擺錘運(yùn)動(dòng)引起的磁場(chǎng)變化，并將其計(jì)算為傾斜角度。
晶體傾斜傳感器
晶體傾斜傳感器是一種利用晶體振蕩器特性的高靈敏度傾斜傳感器。由晶體制成的懸臂和保持部在一端彼此相對(duì)地固定，并且電極設(shè)置在懸臂和保持部的每一個(gè)上。
當(dāng)傳感器傾斜時(shí)，保持部分不會(huì)彎曲，而懸臂會(huì)彎曲。當(dāng)懸臂彎曲時(shí)，電極板之間的距離發(fā)生變化，電容也發(fā)生變化，而晶體傾斜傳感器的機(jī)制是測(cè)量電容作為頻率的變化。電容到頻率的轉(zhuǎn)換是通過將傾斜傳感器與晶體振蕩器和振蕩電路相結(jié)合來實(shí)現(xiàn)的。
