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加熱器與過(guò)濾精度達(dá) 0.1μm的過(guò)濾器同時(shí)搭載。
該系列可用于半導(dǎo)體制造工藝中的液化氣體過(guò)濾，接觸氣體部分材采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)。該系列還搭載了LINTEC自主研發(fā)的低壓損結(jié)構(gòu)。
0.1µm 的過(guò)濾精度
最高使用溫度達(dá)200℃
全金屬無(wú)塵構(gòu)造
VF-0201N
該系列過(guò)濾器可安裝在汽化系統(tǒng)后方，用于消除可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷的微粒及霧狀物。
加熱過(guò)濾器是一種過(guò)濾裝置，其利用變溫吸附的原理，在常溫下吸附（工作），在較高溫度下解析（再生）。即吸附劑在吸附過(guò)程中吸附的水分，在再生過(guò)程中, 由鼓風(fēng)機(jī)提供再生氣,經(jīng)過(guò)加熱器將環(huán)境空氣加熱到200℃左右進(jìn)入干燥塔,依靠干燥空氣的熱擴(kuò)散作用,清除吸附的水分，然后鼓風(fēng)機(jī)停止供氣,用大約5%的干燥空氣進(jìn)入干燥塔。
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