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壓電移相器 Mirrors.Z12

? 毫秒級(jí)運(yùn)動(dòng)響應(yīng)，高分辨率相位調(diào)節(jié)解決方案

• Z掃描運(yùn)動(dòng)12 um閉環(huán)行程；

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 0.2 nm；

• ms級(jí)響應(yīng)；

• 主體材料：不銹鋼；

• 最大負(fù)載：200 g；

• 閉環(huán)傳感器：SGS；

• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)；

壓電位移臺(tái)快反鏡，Z軸掃描，高速擺鏡——詳細(xì)參數(shù)：

壓電位移臺(tái)快反鏡，Z軸掃描，高速擺鏡——尺寸圖：

多場科技Mirrors高速擺鏡系列實(shí)現(xiàn)單軸/雙軸/三軸全運(yùn)動(dòng)行程，高動(dòng)態(tài)鏡片運(yùn)動(dòng)控制，閉環(huán)操作；支持多自由度運(yùn)動(dòng)，支持無磁，高真空兼容版本；也提供大行程鏡片運(yùn)動(dòng)控制