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日本日酸TANAKA進(jìn)口半導(dǎo)體壓力調(diào)節(jié)器低壓閥STⅤ50-3WE-30X03G-6UB6UB-T
適用于半導(dǎo)體、液晶、太陽(yáng)能電池等各種半導(dǎo)體材料氣體的減壓。
產(chǎn)品范圍廣泛，從高壓到微減壓，以及高純度和腐蝕性氣體。
S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。
●通過(guò)排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施電解研磨，實(shí)現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。
●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。
●在一次室的流路內(nèi)置過(guò)濾器，減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。
●包括泄漏測(cè)試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。
●STV50系列作為一次低壓用中流量機(jī)型，廣泛用于流量要求比STV30更高的低壓配管、出口面板、液化氣體的氣缸箱等。
●作為腐蝕性氣體用，準(zhǔn)備了在接觸氣體的主要金屬部分使用高耐腐蝕性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。
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