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氣體質(zhì)量計(jì)（Gas Mass Flow Meter）是一種用于測量氣體質(zhì)量流量的儀器，廣泛應(yīng)用于工業(yè)過程控制、實(shí)驗(yàn)室研究、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域。以下是關(guān)于氣體質(zhì)量計(jì)的詳細(xì)介紹：

1. 氣體質(zhì)量計(jì)的類型

根據(jù)測量原理，常見的氣體質(zhì)量計(jì)包括：

熱式質(zhì)量流量計(jì)（Thermal Mass Flow Meter）

原理：基于氣體流過熱傳感器時(shí)的冷卻效應(yīng)測量流量。

特點(diǎn)：無需溫壓補(bǔ)償，直接測量質(zhì)量流量，適合潔凈氣體（如空氣、氮?dú)?、氧氣等）?/p>

應(yīng)用：半導(dǎo)體、生物反應(yīng)器、燃燒控制等。

科里奧利質(zhì)量流量計(jì)（Coriolis Mass Flow Meter）

原理：利用科里奧利力效應(yīng)，通過振動管中氣體流動導(dǎo)致的相位差測量流量。

特點(diǎn)：可同時(shí)測量質(zhì)量流量、密度和溫度，精度高，但成本較高。

應(yīng)用：化工、石油、天然氣行業(yè)的高精度測量。

差壓式流量計(jì)（DP Flow Meter）

原理：通過節(jié)流裝置（如孔板、文丘里管）產(chǎn)生的壓差間接計(jì)算流量。

特點(diǎn)：需配合溫壓補(bǔ)償才能得到質(zhì)量流量，適合高壓或高溫氣體。

應(yīng)用：蒸汽、壓縮空氣流量監(jiān)測。

超聲波流量計(jì)（Ultrasonic Flow Meter）

原理：利用超聲波在氣體中順流和逆流的傳播時(shí)間差計(jì)算流速。

特點(diǎn)：非接觸式測量，適用于大管徑或腐蝕性氣體。

2. 關(guān)鍵參數(shù)

選擇氣體質(zhì)量計(jì)時(shí)需考慮以下參數(shù)：

測量范圍（量程）：確保覆蓋實(shí)際流量需求。

精度：通常為±1%~±2.5%，高精度型號可達(dá)±0.5%。

氣體兼容性：儀表材質(zhì)需適應(yīng)氣體特性（如腐蝕性、濕度）。

輸出信號：4-20mA、RS485、脈沖輸出等。

壓力與溫度范圍：需匹配工況條件。

3. 應(yīng)用場景

工業(yè)過程控制：如半導(dǎo)體制造中的工藝氣體流量監(jiān)控。

環(huán)保監(jiān)測：煙氣排放量測量（SO?、NO?等）。

實(shí)驗(yàn)室：校準(zhǔn)氣體分配系統(tǒng)或反應(yīng)氣體流量控制。

能源管理：天然氣、壓縮空氣的能耗計(jì)量。

4. 選型建議

明確氣體類型：腐蝕性氣體需選用耐腐蝕材質(zhì)（如哈氏合金）。

確定流量范圍：避免過大量程導(dǎo)致精度下降。

環(huán)境條件：高溫/高壓環(huán)境需選擇專用型號。

安裝要求：直管段長度、管道方向（熱式流量計(jì)對安裝方向敏感）。