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Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵TGkine3800M-B

2025-3-10  閱讀(80)

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# 2025年新品發(fā)布會(huì)#

日期:2025年3月10日

時(shí)間:8:30-18:30

近期我司新推出升級(jí)了Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵TGkine3800M-B


集成控制器和電源 省電設(shè)計(jì) 節(jié)省空間 IP54 標(biāo)準(zhǔn) 多樣化的通信規(guī)格 國際標(biāo)準(zhǔn) CE /NTL/SEMI-S2 用 半導(dǎo)體制造設(shè)備 FPD 制造設(shè)備 太陽能電池制造設(shè)備 玻璃和鏡頭等光學(xué)元件的加工 薄膜加工 加速器/空間環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備

渦輪分子泵由轉(zhuǎn)子葉片和靜態(tài)葉片的多級(jí)組合組成。 機(jī)翼的傾斜度與旋轉(zhuǎn)方向之間的關(guān)系如下圖所示。 從高真空側(cè)飛出的氣體分子在進(jìn)入轉(zhuǎn)子葉片時(shí)試圖向各個(gè)方向移動(dòng)并移開。 然而,由于葉片的傾斜和旋轉(zhuǎn),它們被引導(dǎo)到后級(jí)的方向,同時(shí)被引導(dǎo)到容易穿過靜態(tài)葉片的方向。 此外,從后級(jí)側(cè)面穿過靜態(tài)葉片并逆行的氣體分子也通過接觸轉(zhuǎn)子葉片再次被引導(dǎo)至下游方向。 葉片的傾斜度具有氣體分子可以輕松通過前級(jí)的角度(排氣方向的流動(dòng)和回流之間的較大差異),以及氣體分子在后級(jí)上不太可能反轉(zhuǎn)的角度(排氣方向的流動(dòng)與回流的比率很大)。 在分子池中,這些轉(zhuǎn)子葉片和靜態(tài)葉片執(zhí)行渦輪分子泵的基本功能。

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