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原裝現(xiàn)貨EBARA 荏原ESR20N節(jié)能型干式真空泵

2025-4-23  閱讀(31)

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# 2025年新品發(fā)布會#

日期:2025年4月23日

時間:8:30-18:30

近期我司新推出升級了原裝現(xiàn)貨EBARA 荏原ESR20N節(jié)能型干式真空泵

轉子設計和怠速功能,實現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應用,從負載鎖和 SEM 等輕負載應用到腐蝕性工藝。

特長
通過寬范圍溫度控制實現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應應用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等

 

型式単位ESR20NESR30ESR30NESR500W(N)
排気速度L/min1,300 ~ 2,0003,0003,00046,000
到達圧力Pa20.530.670.2
接続口徑吸気口
NW40NW50NW50ISO160
排気口
NW40NW40NW40NW40
到達圧力時電力概略値kW0.71.71.73.1
冷卻水流量L/min2~83.5~83.5~83.5~8
溫度Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30
N2流量Pa•m3/s19~22 (0)19~22 (3.4)19~22 (3.4)19~22 (3.4)
電源 相/電圧/周波數(shù)200Vモデル
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
3相/200V/50Hz
3相/200-220V/60Hz
400Vモデル
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
3相/380-400V/50Hz
3相/380-440V/60Hz
電源容量kVA47712.3
概略質量kg90190190500


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