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日本原裝Osaka Vacuum大阪真空TG1003油潤滑復(fù)合分子泵

2025-5-23  閱讀(43)

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# 2025年新品發(fā)布會(huì)#

日期:2025年5月23日

時(shí)間:8:30-18:30

近期我司新推出升級(jí)了日本原裝Osaka Vacuum大阪真空TG1003油潤滑復(fù)合分子泵

 耐腐蝕性氣體排出的化學(xué)類型 ■ 結(jié)構(gòu)可抵抗意外進(jìn)入大氣 ■ 耐外部沖擊 ■ 可進(jìn)行串行通信 ■ 安全標(biāo)準(zhǔn) NRTL/半 S2 用 ?半導(dǎo)體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?管材、光學(xué)元件的制造 ?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究 ?熱處理 ?研發(fā) * 對(duì)于清潔工藝,請(qǐng)選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。


進(jìn)氣法蘭VG150
CF160
ISO-B160 標(biāo)準(zhǔn)
抽速N2 (升/秒)1000
N2(帶保護(hù)網(wǎng)) (升/秒)940
H2 (升/秒)1000
最大壓縮比N21×108
H24×103
極限壓力VG/ISO-B/CF (帕)<1×10-6/< 1×10-7
VG?ISO-B/CF (托)<7.5×10-9/< 7.5×10-10
最大氣體流速※1N2 (SCCM)2715
啟動(dòng)時(shí)間(分鐘)9-12
停機(jī)時(shí)間(分鐘)9-13
允許的輔助壓力(Pa / Torr)300/2.3
推薦的輔助泵(升/分鐘)500
潤滑油量(毫升)260
安裝姿勢(shì)垂直 (±10°)
質(zhì)量(公斤)50
控制器類型TC1003 系列


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