MAG磁懸浮分子泵是由 Leybold（萊寶） 等公司研發(fā)的干式真空泵，采用磁懸浮軸承技術(shù)，適用于超高真空（UHV）和嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境。其核心特點是無油、免維護(hù)、低振動，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、科研、鍍膜等領(lǐng)域。

MAG磁懸浮分子泵基于五軸主動磁懸浮軸承技術(shù)，使轉(zhuǎn)子無機械接觸懸浮，通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片（3000~60000 RPM）將氣體分子從進(jìn)氣口壓縮至排氣口，實現(xiàn)超高真空抽氣。

磁懸浮軸承：電磁場精確控制轉(zhuǎn)子位置，消除摩擦磨損。

高速渦輪葉片：鋁合金或鍍層轉(zhuǎn)子，優(yōu)化氣流效率。

無油設(shè)計：避免碳?xì)湮廴?，適用于潔凈真空系統(tǒng)。

MAGiNTEGRA磁懸浮分子泵可靠耐用，能夠承受工藝中產(chǎn)生的顆粒和沉積物。它可以承受生產(chǎn)過程中引起的大氣流沖擊，可以在任意位置以任意角度安裝。整體外形對稱設(shè)計，與變頻器合為一體，且變頻器的安裝位置靈活，節(jié)約了安裝空間。由于使用了五軸定位磁懸浮軸承，TURBOVACMAGiNTEGRA幾乎免維護(hù)，同時無碳?xì)浠衔镂廴镜娘L(fēng)險，極其適合脂潤滑機械軸承分子泵不適用的對碳?xì)浠衔镂廴居袊?yán)格要求的真空應(yīng)用。MAGiNTEGRA的另一個顯著優(yōu)點是在運行時產(chǎn)生的振動極小，這對于某些應(yīng)用是非常重要的。

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