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山金工業(yè)(深圳)有限公司
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5810i 離子平衡頂置式鼓風(fēng)機(jī)Simco-Ion 思美高

時間:2025/5/10閱讀:80
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 5810i  離子平衡頂置式鼓風(fēng)機(jī)Simco-Ion 思美高

 5810i  離子平衡頂置式鼓風(fēng)機(jī)Simco-Ion 思美高

產(chǎn)品信息

5810i 型離子發(fā)生器鼓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)是一款高性能頂置式鼓風(fēng)機(jī),與外部傳感器結(jié)合使用,可保持 +/- 1v 的離子平衡,適用于嚴(yán)格的靜電控制過程。


特征

■與外部傳感器(NOVX 3150/3350/3360/7000 等)
 結(jié)合使用時可實現(xiàn)高精度 +/-1v 離子平衡
?。ú皇褂猛獠總鞲衅鲿r為 +/-3v)
■高潔凈兼容性
■ 5802i、5810i、5822i 型離子發(fā)生器風(fēng)機(jī)
 專為在潔凈室中使用而
 設(shè)計,高度潔凈且符合 ISO 4 級(聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209E 10 級)標(biāo)準(zhǔn)
■專有的自動離子平衡控制
 可延長維護(hù)周期
■配備風(fēng)扇停止警報
■可選的自動電極清潔機(jī)制

 高可靠性和本地支持,并有 全球眾多交付記錄作為后盾

規(guī)格


輸入電壓100-240V交流電+/-10% 50/60Hz
外部的鋁上的環(huán)氧/聚酯粉末涂料
離子發(fā)生方法穩(wěn)態(tài)直流法
電極鈦合金8片/扇
風(fēng)量144cfm 典型值/風(fēng)扇 風(fēng)扇速度 = 高
除靜電時間<3秒。 45cm距離。1kv→100v。晶圓廠速度 = 高
離子平衡<+/-1v 典型值(帶外部傳感器)+/-3v(不帶外部傳感器)
尺寸-32:高96毫米 x 深155毫米 x 長813毫米
-40:高96毫米 x 深155毫米 x 長1016毫米
-44:高96毫米 x 深155毫米 x 長1118毫米
重量-44:鋁制機(jī)身規(guī)格4.6kg


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