HONDA本多 W-357-1MQG-SKC  振動式清洗機

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 家

產(chǎn)品信息

工業(yè)產(chǎn)品

產(chǎn)品陣容

超聲波清洗設(shè)備

石英振動式清洗機[高頻石英振動式]

石英振動類型

實現(xiàn)低損傷、高清潔度的新一代清洗技術(shù)

2006年，我們成功將 臺石英振子式超聲波清洗裝置投入實際應(yīng)用。

該裝置通過將超聲波疊加在石英振子上來清洗半導(dǎo)體晶圓。

與批量清洗或流水清洗相比，該裝置的優(yōu)點在于，可以減少化學(xué)藥劑的使用量，并且由于與液體接觸的部分只有石英玻璃，填料等橡膠材料不會與液體接觸，因此可以保持較高的清潔度。

此外，通過根據(jù)用途調(diào)整石英振子的形狀，可以根據(jù)需要進(jìn)行低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣面）和缺口（晶圓邊緣面的切口部分）清洗等有效的清洗。

概述

特征

以最小的損傷清洗具有精細(xì)圖案的晶圓

■通過將超聲波疊加在石英振子上來清洗半導(dǎo)體晶圓。

通過將石英振子的超聲波振動通過藥液傳遞到半導(dǎo)體晶圓，接觸點的藥液會振動，通過加速度去除表面污垢。

■實現(xiàn)對半導(dǎo)體晶圓損傷最小的清潔清洗通過

在與藥液的接觸部分使用石英，與使用填料等橡膠材料的設(shè)備相比，可以實現(xiàn)清潔清洗，而不會產(chǎn)生橡膠的溶出或磨損。

■配備振子冷卻功能，可以用氣體（氮氣等）冷卻振子，從而實現(xiàn)頻率無波動的穩(wěn)定連續(xù)運行。

此外，冷卻還可以防止急劇的溫度變化并延長設(shè)備壽命。

目的

光刻膠殘留物去除

蝕刻和灰化后聚合物去除

柵極電極清洗

CMP 后清洗

規(guī)格

■ 振蕩器

   ● 輸出可變范圍：0W 至 12W（振動器允許輸入：使用空氣吹掃冷卻振動器時，10W 連續(xù)）

● 使用周圍環(huán)境：溫度：15 至 35°C、濕度：10 至 85%

● 外部驅(qū)動觸點額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)）觸點輸入：DC12V 16mA 或更大

　警報輸出（主機）觸點容量：DC24V 0.5A

■ 附帶電纜：電源線（從 AC100V/2m 或 AC200V 2.4m 中選擇）、控制線（5m）x 4

■ 振動體

          ●液體溫度范圍：20至50°C

●振動器：PZT

●材質(zhì)：振動器：石英玻璃、密封墊：硅橡膠、外殼：PCTFE

●電纜長度：輸出電纜1.5m+中繼電纜3.5m

●空氣吹掃接頭：適用管（外徑φ6）

*也可接受 2MHz、3MHz、4MHz 和 5MHz 的特殊訂單。

●電纜長度：輸出電纜5m

我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細(xì)：

代理品牌：CCS晰寫速SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學(xué)、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 東麗

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、TORAY東麗、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH愛光、SEM坂本電機

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等

優(yōu)勢產(chǎn)品：日本紫外線照度計、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、氧氣濃度計、焊接機、應(yīng)力表面檢查儀、LED光源機、電子天平、粘度計、膜厚計、恒流泵、采樣泵、PH計、水分計、地震測試儀、脫泡攪拌機、壓力傳感器、氣體檢測儀、接近開關(guān)、拉拔機、異音檢測儀、應(yīng)變測試儀、拉針儀、水平測試儀等氣動元件：SMC  FESTO  CKD,MAC，安沃馳AVENTICS，雄克SCHUNK，小金井KOGANEI，諾冠NORGREN，寶德BURKERT，力士樂REXROTH，濱霸BIMBA，康茂勝CAMOZZI，PIAB

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