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當前位置：天津市九所科技發(fā)展有限公司>>PEVCD>> JS-PECVD-D12111H-5QG九所科技PECVD實驗設(shè)備廠家定制定做
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號JS-PECVD-D12111H-5QG
品 牌九所科技
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地天津市
更新時間：2025-03-04 16:48:26瀏覽次數(shù)：141次
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,電氣 |
|---|
PECVD設(shè)備是一種利用等離子體技術(shù)來促進化學(xué)反應(yīng)的設(shè)備，PECVD設(shè)備的工作原理基于化學(xué)氣相沉 積（CVD），但通過引入等離子體能量，可以提高 反應(yīng)速率、降低反應(yīng)溫度、改變薄膜成分和結(jié) 構(gòu) ，以 及 增 強 薄 膜 的 附 著 力 和 致 密 性 。在 PECVD過程中，使用低氣壓下的低溫等離子體 在沉積室的陰極觸發(fā)輝光放電，或通過其他加 熱裝置將樣品加熱至設(shè)定溫度，并引入特定量 的工藝氣體。這些氣體在等離子體的作用下進 行多種化學(xué)反應(yīng)，最終在樣品表面生成一層固態(tài)薄膜。滿足不同領(lǐng)域的研究需求。
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