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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 產品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質分類 | 氣體&液體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
本設備是基于RK系列（1200,2000）研發(fā)出的產品，無論是小流量還是大流量
產品介紹
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
KOFLOC科賦樂 浮子流量計
低成本流量計。黃銅、SUS，2種型號可供選擇
低壓損，可進行測量控制
F.S.10L/MIN～F.S.1000L/MIN的范圍內都支持
也可以咨詢容量列表以外的氣體
技術優(yōu)勢
熱式技術（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。
壓差式技術（液體）：
通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應用場景
半導體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封
| 流量范圍（L/MIN） | 壓力損失（kPa） | 浮標材質 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| AIR | O2 | LNG（天然氣） | C3H8（丙烷） | ||
| 1?100 | 1?100 | 20?130 | 10?80 | 0.6 | POM （聚甲醛白 |
| 20?200 | 20?190 | 25?250 | 20?150 | 1.2 | |
| 50?300 | 50?300 | 70?400 | 50?250 | 2.6 | |
| 100?500 | 100?450 | 150?600 | 80?400 | 5.5 | |
| 80?800 | 80?750 | – | 80?600 | 15 | SUS304 |
| 100?1000 | 100?1000 | 100?1000 | 80?800 | 23 | |
| 材質 | B | S | |
|---|---|---|---|
| 主體區(qū)塊 | 黃銅 | SUS306 | |
| 精度 | FS±5%（測量點） | ||
| 錐形管 | 硬玻璃 | ||
| 密封材料 | NBR | 氟橡膠 | |
| 保護罩 | 丙烯 | ||
| 最高使用溫度 | 50℃ | ||
| 接口 | RC 3/4 | ||
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