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如皋市原野勘察機械廠
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標準探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺
  • 標準探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺

貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-05-30 12:01:14

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( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網 上看到的信息,謝謝?。?/p>

JKZC-DH系列探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺,最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺設備配 置十分豐富,不僅具備龍門架結構和卡盤的升降功能,還具備的卡盤快速移動技術,可快速定位 樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離,同時也方便探針卡的使用。此設備在大型實驗室或者半導體工廠得到廣泛運用,配合對應的儀器儀表,可以完

標準探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺

|產品概要

JKZC-DH系列探針臺是一款綜合型晶圓測試探針臺,最大可完成12英寸晶圓的電學測試。此系列探針臺設備配 置十分豐富,不僅具備龍門架結構和卡盤的升降功能,還具備的卡盤快速移動技術,可快速定位 樣品位置,提高測試效率。另外針座平臺具備三段式升降功能,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到 快速分離,同時也方便探針卡的使用。此設備在大型實驗室或者半導體工廠得到廣泛運用,配合對應的儀器儀表,可以完成集成電路/芯片/MEMS器件/PCB元器件/材料器件的IV/CV特性測試/管芯晶圓/LED/LC- D/太陽能電池行業(yè)的測試。此系列探針臺可以實現1μm以上的Pad電極測試,也可以實現搭載探針卡的測 試。

|技術特點

•卡盤可360度快速移動,便于快速定位樣品位置,提高測試效率;

•三段式可升降探針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離;

加厚級剛性金屬框架結構設計,的內部防震技術,結構性能穩(wěn)定。

詳細參數

產品型號 技術參數

JKZC-DH6

JKZC-DH8

JKZC-DH12

探針臺本體

主體材料

航空鋁

航空鋁

航空鋁

整機尺寸mm)

750L*550W*680H

800L*580W*680H

930L*700W*680H

重?

75kg

95kg

150kg

卡盤大小

6" ,360度轉動,可微調

8",360度轉動,可微調

12;360度轉動,可微調

卡盤XY軸行程

6"6",精度 10um

8"*8",精度 10um

12"*12"3m 10um

卡盤Z軸行程

快速升降5mm,微調升降行程6mm,精度1微米

卡盤材質

不銹鋼鍍金,具備更小的接觸電阻

卡盤氣浮移動范圍

360度快速移動,便于快速定位,提高測試效率

卡盤吸附方式

真空吸附,可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附(適用于薄片)

背電極測試功能

卡盤鍍金,電學獨立懸空,帶24mm香蕉頭插口,具備背電極功能

其它功能

帶標準接地保護,可升級

針座平臺

材質

U型平臺,Q235鍍銀,帶接地端子

大小

最多可放置6個探針座

最多可放置8個探針座 最多可放置12個探針座

三段式升降平臺

探針平臺可以快速升降,擁有5mm300um兩檔,探針平臺可以上下微調, 行程25mm,升降精度gm(使用探針卡的時候使用)

TH系統(tǒng)

顯微鏡類型

體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)

倍率范圍

16X~200X/40X~280X/20X~4000X

顯微鏡行程

具備高剛性龍門架結構,XYZ行程分別為2英寸*2英寸*2英寸,精度lum

CCD成像系統(tǒng)

2k或者4K相機,幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能

探針座

種類

絲桿型/微分頭型/經濟型探針座

X¥Z行程

12.5mm-12.5mm-12.5mm

機械精度

0.5um/0.7um/2um

夾具

漏電精度

同軸夾具10pA/H軸夾具lOOfA

接口形式

同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口

其它

選件

屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率/半自動

電力需求

220W50HZ





搭配產品/半導體參數分析儀

標準探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺
我們經過近10年的發(fā)展,在測試儀器與探針臺的搭配方面具備十分 豐富的經驗。半導體參數分析儀方面,我們和是德科技(Keysight)、 泰克(Tektronix)、概倫電子(PRIMARIUS)等公司的半導體參數 分析儀有過多次搭配經驗,系列型號有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro,并為用戶提供半導體參數分析 儀與探針臺集成測試方案和服務。


搭配產品/矢量網絡分析儀

標準探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺
依靠與儀器設備廠商和設備集成經銷商所保持良好的合作關系,我司 可為用戶提供是德科技(Keysight)、中電思儀(Ceyear)等公司的 網絡分析儀和模塊,有 Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E ,各系列型號的矢量網絡 分析儀和毫米波網絡分析儀,涵蓋不同測量頻率范圍、性能和功能,并 為用戶提供網絡分析儀與探針臺集成測試方案和服務,具備豐富的測 試經驗。


搭配產品/其他類型源表

標準探針臺/JKZC-DH系列綜合型探針臺

在其它類型源表方面,比如tek 2450, tek 2600, keysight 2900,普賽斯 S300,鐵電分析儀,各類示波器,各類電源,頻譜儀等等都有多年的搭 配經驗。



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