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SMH560LM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，直驅(qū)電機(jī)特點主要有速度快、動態(tài)性能好、摩擦力小，易于實現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。...

SMH280LM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，直驅(qū)電機(jī)特點主要有速度快、動態(tài)性能好、摩擦力小，易于實現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。...

ART95系列 直線電機(jī)機(jī)械臺是納米級定位精度的運動平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。行程...

SMH225LM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，直驅(qū)電機(jī)的特點是速度快、動態(tài)性能好、摩擦力小，易于實現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。S...

SMH190LM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，直驅(qū)電機(jī)特點主要有速度快、動態(tài)性能好、摩擦力小，易于實現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。...

SMH165LM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，直驅(qū)電機(jī)速度快、動態(tài)性能好、摩擦力小，易于實現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。SMH16...

SMH115LM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，直驅(qū)電機(jī)速度快、動態(tài)性能好、摩擦力小，易于實現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。平臺使用高...

PM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-XY是亞微米級定位精度的XY一體式精密定位平臺，直線電機(jī)直驅(qū)控制，采用兩軸一體式結(jié)構(gòu)，具備非常優(yōu)秀的性能和重復(fù)定位精度，雙向重復(fù)精度小...

CFT-XY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式精密定位平臺，直線電機(jī)直驅(qū)控制，采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截...

ART180系列 直線電機(jī)機(jī)械臺是納米級定位精度的運動平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。A...

ART130系列 直線電機(jī)機(jī)械臺是納米級定位精度的運動平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。行...

ART95XY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式運動平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)...

ART130LZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運動平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)...

ART95XYZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-XYZ是納米級定位精度的XYZ一體式運動平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻...

ART95SZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運動平臺，無齒槽直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率...

ART95LZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運動平臺，無齒槽直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率...

ACT85LM系列 直線電機(jī)機(jī)械臺采用直線電機(jī)驅(qū)動，直驅(qū)電機(jī)速度快、動態(tài)性能好、摩擦力小，易于實現(xiàn)精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應(yīng)用。ACT85L...

Surface系列 平面氣浮是地心科技高精度和高動態(tài)性能平面氣浮平臺，它是XY雙氣浮軸承正負(fù)壓設(shè)計，采用空氣環(huán)繞型預(yù)載，利用空氣負(fù)壓來平衡氣浮導(dǎo)軌往上浮和下壓預(yù)...

ONEXY系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式精密運動平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用開放式結(jié)構(gòu)，具備非常優(yōu)秀的性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)120...

MicroL-Z系列 定制運動系統(tǒng)是亞微米級定位精度的XYZ一體式精密定位平臺，采用三軸一體式結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶要求分離成大中空的XY軸和單獨的Z軸。Micro...