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| 新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)zui末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級別下 · 對 ppb 級別濕度異動的快速響應(yīng) · 低濕 ppb 級別的靈敏度 （<1 ppb） · 多點測量安裝的全新概念 · 維護要求低 · 信號燈式的狀態(tài)指示 · 可設(shè)置警告和報警點 · Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容 · 遠程控制界面的多通道軟件 · （UHP） 超純氣體的管線檢測 | | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 技術(shù)指標(biāo) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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