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氧化鈮薄膜由于*的物理和化學(xué)性質(zhì)被廣泛地用于光學(xué)干涉濾波器、電化色薄膜和氣體傳感器中。

它光學(xué)波導(dǎo)損耗小，對紫外有較強的吸收，可作紫外敏感材料的保護膜，是一種具有優(yōu)異光學(xué)性能的材料。它也是性能優(yōu)良的電致變色材料，它的電致變色性能可與獲得廣泛研究的WO3的性能相媲美，而且氧化鈮與氧化鎳也能組成性能匹配的互補性電致變色玻璃。

氧化鈮薄膜高折射率、大光學(xué)帶隙、高化學(xué)穩(wěn)定性和抗腐蝕性等性能使得其被廣泛的運用于生產(chǎn)生活中。

目前制備氧化鈮薄膜的方法主要有電子束蒸發(fā)、離子束反應(yīng)濺射法、反應(yīng)磁控濺射法和溶膠凝膠法等。不同的沉積方法和制備過程參數(shù)對制備薄膜的結(jié)構(gòu)、形貌和光學(xué)質(zhì)量等有很大影響。