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產(chǎn)品簡介：

ProRGA-7000是聚光科技基于質(zhì)譜分析技術(shù)平臺開發(fā)的一款高性能殘余氣體分析儀，用于檢測特定真空區(qū)域內(nèi)關(guān)鍵氣體分壓，適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場合。具有毫秒級響應(yīng)速度和ppb級的靈敏度，非常適合檢測真空泄露狀態(tài)，如電池、半導(dǎo)體、凍干機等真空腔體內(nèi)部特定過程相關(guān)氣體的污染水平或動態(tài)波動，并及時提醒用戶可能產(chǎn)生的潛在風(fēng)險，提升產(chǎn)品良品率。

產(chǎn)品特點

檢測效率高：支持多個標(biāo)記物同時檢測，單組分檢測事件小于0.5s。

產(chǎn)品自動化：具備自動校準(zhǔn)功能，消除傳感器云頂飄逸，確保長期數(shù)據(jù)穩(wěn)定性

高精度：采用高精度四極桿質(zhì)量分析器，適用于真空度10Pa到常壓應(yīng)用場合下ppb級殘余氣體分析。

應(yīng)用領(lǐng)域

電池、半導(dǎo)體、凍干機等行業(yè)