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利用 NexION 2000 ICP-MS 對半導(dǎo)體級鹽酸中的雜質(zhì)進(jìn)行分析

閱讀:380      發(fā)布時間:2018-05-09
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 引言

在半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)過程中,許多流程中都要用到各種酸類試劑。其中重要的是鹽酸(HCl),其主要用途是與過氧化氫和水配制成混合物用來清潔硅晶片的表面。由于半導(dǎo)體設(shè)備尺寸不斷縮小,其生產(chǎn)中使用的試劑純度變得越來越重要,這是因為即使是少量雜質(zhì)也會導(dǎo)致設(shè)備的失效。 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的是金屬雜質(zhì)的大濃度(SEMI 標(biāo)準(zhǔn) C27-07081 用于鹽酸),而半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)商對雜質(zhì)濃度的要求往往更加嚴(yán)格,這樣就給試劑供應(yīng)商帶來了更大的挑戰(zhàn)。其結(jié)果是,分析儀器也必須能夠?qū)Ω蜐舛鹊碾s質(zhì)成分檢測。

 

電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)具備測定納克 / 升(ng/L,PPT)甚至更低濃度元素含量的能力,是測量痕量及超痕量金屬的技術(shù)。然而,常規(guī)的測定條件下,氬、氧、氫離子會與酸基體相結(jié)合,對待測元素產(chǎn)生多原子離子干擾。
 

珀金埃爾默公司的 NexION® 2000 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)可提供多種*消除多原子離子干擾的方式。具有三路氣體通道的通用池在反應(yīng)模式下具備大的做樣靈活性。由于通用池是由四極桿組成的,具備四極桿的所有功能,包括通過調(diào)整四極桿的“q”參數(shù)控制通用池中的化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行。這一優(yōu)勢使得在池內(nèi)使用高反應(yīng)性氣體成為可能,這大大提高了干擾去除的能力。在三路氣體通道可用的情況下,三種不同的氣體可以在同一次進(jìn)樣中自由切換,得以選擇出針對某一特定干擾消除的*反應(yīng)氣體。在鹽酸分析中,除去氯的干擾是至關(guān)重要的,目前有效的反應(yīng)氣是高純氨氣和高純氧氣。表 1 為在鹽酸分析中可能的多原子離子干擾。

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珀金埃爾默企業(yè)管理(上海)有限公司

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