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使用ICP-OES測(cè)定半導(dǎo)體級(jí)磷酸中的各種元素

閱讀：710      發(fā)布時(shí)間：2020-03-24
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    在半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造中，試劑的純度至關(guān)重要，因?yàn)槲廴疚锏拇嬖跁?huì)影響終產(chǎn)品的性能。磷酸通常用于生產(chǎn)各種半導(dǎo)體材料，因此，需要按照SEMI C36-1107 3 級(jí)要求的規(guī)定測(cè)量痕量污染物。

 

    由于其粘度、組成和濃度的原因，磷酸的分析具有挑戰(zhàn)。在基質(zhì)組成和測(cè)量水平的共同要求下，ICP-OES 成為磷酸分析的工具。

    本文描述了用ICP-OES 分析磷酸以滿足SEMI 要求。

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 珀金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司

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