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NexION 300S ICP-MS 對光刻膠中的Si的分析

閱讀：334 發(fā)布時間：2020-05-21

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使用ICP、ICP-MS分析時存在光學干擾，而儀器的結構又決定了Si的檢出限比其他元素更高，所以為了分析低濃度的Si，必須去除光學干擾或更換儀器進樣系統(tǒng) ( 霧室、霧化器、中心管、炬管 )。

本實驗的目的是利用NexION 的 DRC模式確定分析Si的條件。

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