hydac壓力傳感器結(jié)構(gòu)類型

賀德克hydac壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機(jī)械電子傳感器。硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗，極低的成本。賀德克hydac壓力傳感器當(dāng)外面的壓力經(jīng)引壓腔進(jìn)入傳感器應(yīng)力杯中，應(yīng)力硅薄膜會因受外力作用而微微向上鼓起，發(fā)生彈性變形，四個電阻應(yīng)變片因此而發(fā)生電阻變化，賀德克hydac壓力傳感器破壞原先的惠斯頓電橋電路平衡，電橋輸出與壓力成正比的電壓信號。

賀德克hydac壓力傳感器和變送器由雙膜片構(gòu)成：鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片。印刷有異質(zhì)外延性應(yīng)變靈敏電橋電路的藍(lán)寶石薄片，被焊接在鈦合金測量膜片上。被測壓力傳送到接收膜片上（接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固的連接在一起）。賀德克hydac壓力傳感器在壓力的作用下，鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變，該形變被硅- 藍(lán)寶石敏感元件感知后，其電橋輸出會發(fā)生變化，賀德克hydac壓力傳感器變化的幅度與被測壓力成正比。

賀德克hydac壓力傳感器可以用類似集成電路設(shè)計技術(shù)和制造工藝，進(jìn)行高精度，低成本的大批量生產(chǎn)。傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，因此它不可能如賀德克hydac壓力傳感器那樣做的像I C那么微小，成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于壓力傳感器，相對于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，賀德克hydac壓力傳感器的尺寸更小，zui大的不超過1CM，使性價比相對于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高。

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