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為什么做清潔度檢測需要用到偏光

來源:上海永傲精密儀器有限公司   2016年12月27日 09:33  

在分析被測濾膜上的殘留物顆粒時,濾膜上金屬顆粒的表面局部單個或多個位置呈現(xiàn)反光,普通明場掃描不能準確判斷顆粒的大小及數(shù)量。

 

金屬顆: 

偏光掃描解決在明場中單個金屬顆粒表面多個位置反光造成的數(shù)量統(tǒng)計不準確。

 

顯微鏡使用的光其出射光經(jīng)過線性偏振后再照射到濾膜表面。通過偏振光物理原理應(yīng)用來識別、對比顆粒在不同偏振光下的圖片,而后鑒別出金屬和非金屬顆粒。

偏光掃描2次掃描,過程全自動偏光,偏光掃描統(tǒng)計所有顆粒數(shù)量及測量尺寸,再明場掃描定性顆粒性質(zhì)(金屬or非金屬),減少誤判。

 

明場掃描1次掃描,一個大金屬顆粒被分解成數(shù)個金屬顆粒及非金屬顆粒,尺寸和顆粒的數(shù)量。統(tǒng)計不準確。

      

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