国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

產(chǎn)品推薦:氣相|液相|光譜|質(zhì)譜|電化學(xué)|元素分析|水分測(cè)定儀|樣品前處理|試驗(yàn)機(jī)|培養(yǎng)箱


化工儀器網(wǎng)>技術(shù)中心>工作原理>正文

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您? 在線咨詢

無(wú)油機(jī)械真空泵及其應(yīng)用

來(lái)源:杭州亞萊博儀器有限公司   2016年12月27日 18:13  

無(wú)油機(jī)械真空泵又稱(chēng)干泵, 這種泵無(wú)任何工作液。因此能保證被抽空間清潔, 對(duì)周?chē)h(huán)境沒(méi)有污染, 有人稱(chēng)之為“綠色” 真空泵。使用它可以提高產(chǎn)品質(zhì)量。例如, 顯像管內(nèi)無(wú)油污染能保證陰極發(fā)射穩(wěn)定, 圖像清晰, 使用壽命長(zhǎng);鍍膜室內(nèi)無(wú)油, 能提高膜層性能, 增加膜層牢固度等。因此無(wú)油機(jī)械真空泵適用于真空電子行業(yè)。本文所介紹的無(wú)油機(jī)械真空泵均指直排大氣的泵。所謂無(wú)油是指在泵腔內(nèi)不使用油類(lèi)和液體, 而傳動(dòng)的齒輪和軸承還需要油類(lèi)潤(rùn)滑, 只是油蒸氣不允許進(jìn)入泵的吸氣口。

   無(wú)油機(jī)械真空泵的種類(lèi),無(wú)油機(jī)械真空泵的種類(lèi)很多, 按泵的結(jié)構(gòu), 可分成接觸式和非接觸式兩大類(lèi)。接觸式是指泵的運(yùn)動(dòng)件與靜止件之間有接觸、摩擦, 如旋片泵、活塞泵等,其zui大壓縮比隨壓力大小無(wú)大幅度變化, 在接近大氣壓時(shí)比非接觸式壓縮比大。非接觸式是指泵的兩運(yùn)動(dòng)件之間或運(yùn)動(dòng)件與靜止件之間沒(méi)有任何接觸,轉(zhuǎn)子需要高速旋轉(zhuǎn), 如羅茨泵、爪型泵、螺旋型泵等,其zui大壓縮比隨壓力變化而變化, 接近大氣壓狀態(tài)時(shí), 壓縮比很小, 因此需要多級(jí)組合抽氣。比較科學(xué)的方法應(yīng)該是按泵的工作原理劃分泵的種類(lèi), 通常可分成容積型和動(dòng)量傳輸型兩大類(lèi), 每一類(lèi)里還包括幾種不同形式的泵。

   螺旋型無(wú)油機(jī)械真空泵,螺旋型無(wú)油機(jī)械真空泵比螺桿泵的轉(zhuǎn)子型線簡(jiǎn)單, 一般為單頭矩形螺旋線, 可采用等螺距或變螺距的轉(zhuǎn)子。這種泵有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu), 抽氣原理是相同的。被抽氣體從泵口進(jìn)入泵腔, 在泵腔內(nèi)被高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子壓縮, 矩形斷面的轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔之間形成螺旋密封, 間隙小, 泄漏少, 可得到較高的壓縮比。由于它的螺旋圈數(shù)多, 比螺桿型無(wú)油泵壓縮比高, 可從大氣壓抽到0.1 Pa 。其抽速與轉(zhuǎn)子直徑、螺旋倒角和轉(zhuǎn)速有關(guān), 一般比螺桿泵抽速小。干蝕刻工藝中的應(yīng)用,蝕刻工藝可分為鋁質(zhì)金屬蝕刻、多晶矽類(lèi)的蝕刻、氧化膜的蝕刻等, 金屬類(lèi)的蝕刻會(huì)產(chǎn)生大量反應(yīng)副產(chǎn)物, 對(duì)真空泵的負(fù)荷會(huì)很大。多晶矽膜、氧化矽膜等的蝕刻使用CF4 , HBr ,SF6 等氣體, 反應(yīng)副產(chǎn)物較少, 升華溫度較低, 可以氣態(tài)形式排出泵外。鋁質(zhì)金屬的蝕刻則使用三氯化硼等氯化氣體, 會(huì)產(chǎn)生大量的四氯化鋁, 升華溫度高, 很容易附著在溫度低的部位, 未發(fā)生反應(yīng)的氣體又多半屬于腐蝕性較強(qiáng)的。在鈦的蝕刻中常使用氟化系氣體, 其特性類(lèi)似于氯化系氣體。干蝕刻生產(chǎn)中多用到氟、氯、溴化物系等腐蝕性較強(qiáng)的氣體, 這些氣體與水結(jié)合變成強(qiáng)酸, 有強(qiáng)烈腐蝕性。因此, 要求泵和管道材料具有高度耐腐蝕性能。

   CVD工藝中的應(yīng)用,利用LPCVD 工藝制備絕緣膜或半導(dǎo)體膜時(shí), 有機(jī)矽烷系統(tǒng)(TEOS)原料呈液體狀態(tài), TEOS 與反應(yīng)副產(chǎn)物混合, 形成凝膠狀而堵塞真空泵排氣口, 這時(shí)在排氣口應(yīng)加冷阱。利用PECVD 工藝制備絕緣膜時(shí), TEOS 的反應(yīng)副產(chǎn)物以白色粉末狀通過(guò)真空泵, 因此應(yīng)選用非接觸型真空泵。清洗氣體使用NF3 ,C2F6 , ClF3 等與上述反應(yīng)副產(chǎn)物結(jié)合, 再形成另一種副產(chǎn)物, 對(duì)真空泵有不良影響, 此時(shí)可利用降低真空泵溫度的方法解決。

免責(zé)聲明

  • 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
  • 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
  • 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
企業(yè)未開(kāi)通此功能
詳詢客服 : 0571-87858618
青川县| 惠东县| 陈巴尔虎旗| 瓦房店市| 湛江市| 夏邑县| 天长市| 阜平县| 隆子县| 涟水县| 德钦县| 信宜市| 和平区| 宜丰县| 任丘市| 莱州市| 西宁市| 肇州县| 红安县| 碌曲县| 藁城市| 吉安县| 绥阳县| 阿合奇县| 文化| 满城县| 铜山县| 巩义市| 舞钢市| 永顺县| 宜阳县| 瑞安市| 运城市| 武山县| 阿克陶县| 大理市| 南阳市| 洪洞县| 龙川县| 河北区| 古田县|