標(biāo)準組件
高品質(zhì)的鏡面基板,玻璃和石英玻璃
具有公差的PR涂層
Ø對于R = 10 ... 30%,±2%
Ø對于R = 30 ... 75%,±±3%
Ø對于R = 75 ... 90%,±±2%
Øo±1%,R> 90%
Ø•開發(fā)和生產(chǎn)客戶特定的組件
圖2:不同AOI(a)下308nm可變衰減器的透射光譜和308nm處透射率與AOI(b)的關(guān)系。
在AOI = 0°時,透射率從T> 85%變化到在AOI = 45°時T = 2±1%(非偏振光)
耐氟腔光學(xué)
圖3:氟化KrF激光鏡(a)和R = 50±3%的輸出耦合器(b)的反射光譜
•氟化物涂層和CaF2基材,對氟和氯具有較高的穩(wěn)定性
•激光鏡(在248nm和308nm處為> 98%,在351nm下R> 96%)
•高品質(zhì)的鏡面基板,窗戶和CaF2透鏡(248nm準分子級或紫外線質(zhì)量,肖特公司)
•具有公差的PR涂層
對于R = 10 ... 30%,±2%
對于R = 30 ... 75%,o±3%
o±2%,R = 75 ...> 90%
KrF,XeCl和XeF激光組件的技術(shù)參數(shù)
Coating | Materials | Reflectance | Damage threshold* | Lifetime test |
HR (0°, 248nm) | oxides | > 99% | 10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns 5 J/cm2, 1000 - on - 1 |
|
HR (45°, 248nm) | oxides | > 99% (random pol.) | 10 J/cm2, 1 - on - 1,20ns |
|
HR (0°, 248nm) | fluorides | R > 98% |
| 2x108 pulses** |
PR (0°, 248nm) | fluorides | R = 50 ± 3% |
| 2x108 pulses** |
PR (0°, 248nm) | fluorides | R < 0.25% |
| 2x108 pulses** |
HR (0°, 308nm) | fluorides | R > 98% |
| 2x108 pulses*** |
HR (0°, 351nm) | fluorides | R > 96% |
| 2x108 pulses*** |
PR (0°, 351nm) | fluorides | R = 25 ± 3% |
| 2x108 pulses*** |
*在Laser LaborGöttingen和Friedrich-SchillerUniversitätJena進行了測量
**能量密度:100mJ / cm 2, 速率:100Hz,脈沖持續(xù)時間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試
***能量密度:55 mJ / cm2, 速率:100Hz,脈沖持續(xù)時間:15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試
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