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在線橢偏儀常用的光學元件有下列幾種:
1.光源橢偏儀的理想光源是強度穩(wěn)定，從紫外(一190nm)到近紅外整個波長范圍內輸出近似為常數(shù)，目前大多選用xe或Hg一xe燈是比較合理的，但是它在uv(低于26Onm)強度較弱，而在880一1010nm具有很強的原子輻射譜線。也有采用激光作為光源(HeNe)，進行單色橢偏測量。
2.偏振器件偏振器是重要的光學元件，理想的偏振器只能傳遞在一個方向偏振的光，而不能傳遞任何沿著它垂直方向偏振的光。偏振器能將任何偏振態(tài)的光變成線偏振光并定向于傳輸軸。格蘭泰勒(方解石)偏振器射出光的偏振度達到10“分之一，波長范圍為230一2200nm。
3.補償器亦是延滯器，它可以地作900(或1/4波長)的延滯。補償器可以由反折射薄片或拋光的斜方形晶體構成。該元件的延滯與光學調整和所用光的波長有關。有的橢偏測量系統(tǒng)利用能將線偏振光變成園偏振光的補償器。特殊情況下，補償器能簡單地在兩垂直的線偏振器之間引入位相延滯。旋轉補償器與旋轉偏振器相結合能將非偏振光變成橢圓偏振光。
4.光束調制器通常有幾種，一種是機械調制器(斬波器)，可以實現(xiàn)光束強度簡諧地調制為了隨后的同步探測;另一種是電光或磁光調制器，用于光束強度(電光)或偏振態(tài)(磁光)的簡諧擾動為了隨后的同步探測，這種調制器一
般難以標定和維護，對溫度敏感并且相當昂貴?，F(xiàn)在還有一種光彈型調制器用于在線橢偏儀中。
5.探測器通常用于在線橢偏儀的探測器有三種，即光電倍增管、硅光電池和InGaAs，前者對偏振態(tài)敏感，后兩種則不敏感，并且在很寬范圍內對光束強度具有線性響應。此外，也有采用硅光二管列陣作為探測器的。
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