中國電子行業(yè)超純水國家標(biāo)準(zhǔn)

來源：北京眾信佳儀科技有限公司 2017年06月23日 15:46

電子行業(yè)對超純水的要求：

電阻率MΩ.cm（25℃） 18以上（95%時間）不低于17 15（95%時間）不低于13

硅≤μg/l 2 10

>1μM微粒數(shù)≤個/ml 0.1 5

細(xì)菌個數(shù)≤個/ml 0.01 0.1

銅≤μg/l 0.2 1

鋅≤μg/l 0.2 1

鎳≤μg/l 0.1 1

鈉≤μg/l 0.5 2

鉀≤μg/l 0.5 2

氯≤μg/l 1 1

硝酸根≤μg/l 1 1

磷酸根≤μg/l 1 1

硫酸根≤μg/l 1 1

總有機(jī)碳≤μg/l 20 100

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