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hydac壓力傳感器HDA4745系列技術(shù)測(cè)壓范圍

來(lái)源:上海申思特自動(dòng)化設(shè)備有限公司   2017年08月11日 13:13  

hydac壓力傳感器HDA4745系列技術(shù)測(cè)壓范圍


賀德克hydac壓力傳感器硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。賀德克hydac壓力傳感器不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的。賀德克hydac壓力傳感器引起載流子的遷移率發(fā)生變化,擾動(dòng)了載流子縱向和橫向的平均量,從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異,因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計(jì),前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化,后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化(應(yīng)變),賀德克hydac壓力傳感器而且前者的靈敏度比后者大50~100倍。壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器。


賀德克hydac壓力傳感器硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片(N型)定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),另兩條處于拉應(yīng)力區(qū),相對(duì)于膜片中心對(duì)稱。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù),對(duì)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力,局部壓力和整個(gè)壓力場(chǎng)的測(cè)量都要求很高的精度。賀德克hydac壓力傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。用于測(cè)量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布,測(cè)試發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口的動(dòng)態(tài)畸變、葉柵的脈動(dòng)壓力和機(jī)翼的抖動(dòng)等。賀德克hydac壓力傳感器在飛機(jī)噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)中心壓力的測(cè)量中,使用專門設(shè)計(jì)的硅壓力傳感器,其工作溫度達(dá)500℃以上。


賀德克hydac壓力傳感器為防止因接錯(cuò)傳感器而造成對(duì)壓力傳感器的過(guò)載性損害,就需要給傳感器帶上“身份證”,并通過(guò)電路和把接入的傳感器識(shí)別出來(lái),讓單片機(jī)進(jìn)行判斷分析。壓力傳感器種類很多,有振動(dòng)筒式、 石英波登管式、壓阻式、應(yīng)變片式等多種。其中振動(dòng)筒式壓力傳感器雖然不確定度可達(dá)012%FS,但賀德克hydac壓力傳感器僅適用于測(cè)量以氣體為介質(zhì)的壓力,測(cè)壓范圍很小;石英波登管式壓力傳感器不確定度能達(dá)到0102%,測(cè)壓范圍也很大,可達(dá)60MPa以上,但這種傳感器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高;應(yīng)變式壓力傳感器測(cè)量上限一般不超過(guò)25MPa,不確定度為1%FS,目前市場(chǎng)上有上限達(dá)60MPa的這類賀德克hydac壓力傳感器。


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