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半導(dǎo)體電阻率測試儀是實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電阻率。半導(dǎo)體電阻率測試儀測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。
半導(dǎo)體電阻率測試儀的技術(shù)指標(biāo):
電源：220V交流
可測晶片直徑（zui大）Ф100mm,方形230×220mm
恒流源：電流量程為0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦±0.5%。
數(shù)字電壓表：量程：0.1～200mV,zui大分辨率：100μV
電阻率顯示：三位半數(shù)字顯示：小數(shù)點(diǎn)、極性、過載、自動顯示0.01-199.99歐姆。厘米
輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω
測量精度：±0.1。
zui大電阻測量誤差（按JJG508-87進(jìn)行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個(gè)字。
重?fù)綑z測誤差（JJG508-87進(jìn)行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
測量環(huán)境：溫度23±2℃，相對濕度≤65%
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