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高精度反射鏡的玻璃材料
在溫度劇烈變化的環(huán)境下使用面型精度較高的反射鏡時(shí)，反射鏡的面型精度有時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化。
這是由于反射鏡的玻璃基板上產(chǎn)生溫度分布，溫度高的部分和低的部分膨脹的數(shù)量不同。因此，需要高精度反射鏡時(shí)，基板需要使用低膨脹材料。
一般經(jīng)常使用石英玻璃（熱膨脹系數(shù)5.5×10－7/℃），但是要求更高精度時(shí)，使用低膨脹玻璃或被稱為零膨脹玻璃的材料。
高精度反射鏡的玻璃材料-微晶玻璃®
是在低膨脹玻璃中混有膨脹系數(shù)為負(fù)的晶體的晶體化玻璃，在0℃?50℃的溫度范圍內(nèi)膨脹系數(shù)可以降低到±1×10−7/℃。
由于晶體的散射導(dǎo)致玻璃變得模糊不清，玻璃中的光線將會(huì)被衰減。
由于比較容易加工，容易拋光，常被用于大型的反射鏡中。
微晶玻璃®是SCHOTT AG的注冊(cè)商標(biāo)。
波長(zhǎng) [nm] | 折射率 |
486.1 | 1.5491 |
587.6 | 1.5424 |
656.3 | 1.5394 |
透過(guò)波長(zhǎng)譜區(qū)域 | 0.4 ? 2.5µm |
表面反射 | 4.6%(587.6nm) |
密度 | 2.53g/cm3 |
高精度反射鏡的玻璃材料CLEARCERAM®-Z
玻璃中析出負(fù)膨脹系數(shù)微小晶體的零膨脹的晶體化玻璃。
在0℃?50℃的溫度范圍內(nèi)膨脹系數(shù)可以降低到±1×10−7/℃。
由于玻璃內(nèi)部是透明的，可以通過(guò)光線。具有良好的導(dǎo)熱性質(zhì)，機(jī)械性質(zhì)，化學(xué)性質(zhì)，可用于激光反射鏡或樣板塊規(guī)。
CLEARCERAM®是株式會(huì)社小原的注冊(cè)商標(biāo)。
折射率 | 1.546（587.6nm） |
透過(guò)波長(zhǎng)譜區(qū)域 | 0.4 ? 2.5µm |
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