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3D納米直寫的又作品 | nano-Dog突破納米加工尺寸限

來源:QUANTUM量子科學(xué)儀器貿(mào)易(北京)有限公司   2018年03月09日 10:51  

    近期,瑞士swisslitho公司用3d納米高速直寫設(shè)備完成了 nano-Dog 賀卡的制作,尺寸僅有9.2μmx 5.5μm,Z軸精度1nm,突破了納米加工尺寸的限,是目前精度zui高的納米賀卡。

    喜氣洋洋的旺旺狗,體現(xiàn)了這款設(shè)備的納米直寫能力(高直寫精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)),同時(shí)高直寫速度,無需顯影,無臨近效應(yīng),無電子/離子損傷等點(diǎn)逐漸受到科研工作者的青睞。2017推出的小面積直寫系統(tǒng)NanoFrazor Scholar更是只有30mmx30mm的樣品臺(tái),桌面配置,大方便了實(shí)驗(yàn)室科研人員的研究工作。

    普通的AFM針尖可無法滿足上述直寫流程的需求,為此IBM門研發(fā)并設(shè)計(jì)了熱掃描探針。該針尖具有兩個(gè)電阻加熱區(qū)域,針尖上方的加熱區(qū)域可以加熱到1000℃。 第二處加熱區(qū)域作為熱導(dǎo)率傳感器位于側(cè)臂處,其能感知針尖與樣品距離的變化,精度高達(dá)0.1nm。

    在每行直寫進(jìn)程結(jié)束后的回掃結(jié)構(gòu)時(shí),并不是通過針尖起伏反饋形貌信息,而是通過熱導(dǎo)率傳感器感應(yīng)形貌變化,從而實(shí)現(xiàn)了比AFM快1000余倍的掃描速度,同時(shí)保證了3D直寫的高精度。

    NanoFrazor與傳統(tǒng)的微納加工設(shè)備如納米醮印,激光直寫,聚焦離子束刻蝕FIB,電子束誘導(dǎo)沉積,電子束光刻EBL等技術(shù)相比,具有高精度3D納米結(jié)構(gòu)直寫,具備實(shí)時(shí)形貌探測的閉環(huán)刻寫技術(shù)以及無需標(biāo)記拼接與套刻等*技術(shù)勢。加上其性價(jià)比高,使用和維護(hù)成本低,易操作等點(diǎn),成為廣受關(guān)注的納米加工設(shè)備。

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