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X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀介紹

來(lái)源:馬爾文帕納科   2018年04月24日 09:27  

特征X射線及其衍射X射線是一種波長(zhǎng)(0.06-20nm)很短的電磁波,能穿透一定厚度的物質(zhì),并能使熒光物質(zhì)發(fā)光、照相機(jī)乳膠感光、氣體電離。用高能電子束轟擊金屬靶產(chǎn)生X射線,它具有靶中元素相對(duì)應(yīng)的特定波長(zhǎng),稱為特征X射線。如銅靶對(duì)應(yīng)的X射線波長(zhǎng)為0.154056 nm。

X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀是半導(dǎo)體材料的標(biāo)準(zhǔn)裝備,用于: 材料科學(xué)和納米技術(shù),半導(dǎo)體材料研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制,可以適用各種應(yīng)用,尤其適合薄膜分析,例如: 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping, 反射率和薄膜相分析,殘余應(yīng)力和織構(gòu)分析, X'Pert PRO MRD/ XL 滿足半導(dǎo)體、LED、薄膜和工業(yè)材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達(dá) 300 mm的晶片分析,并有精密的自動(dòng)晶片裝載選擇;XL成為薄膜生產(chǎn)發(fā)展的的分析手段,LED的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)。

X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀技術(shù)參數(shù):

1,功率:3kW
2,測(cè)角儀重現(xiàn)性:0.0001度
3,測(cè)角儀類型:T-2T
4,五維樣品臺(tái)

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