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臺式掃描電鏡替代傳統(tǒng)電鏡的原因

來源:復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司   2018年06月21日 14:49  
   臺式掃描電鏡替代傳統(tǒng)電鏡的原因
   臺式掃描電鏡具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點(diǎn)、線、面分析,將電鏡和能譜在生產(chǎn)環(huán)節(jié)集成在一臺設(shè)備中,后期通過一個軟件平臺控制操作,用戶只需要熟悉一個軟件就能同時操控兩項功能,也變得相對簡單快速。
   臺式掃描電鏡是掃描電鏡能譜行業(yè)的一個里程碑。亮度10倍于鎢燈絲不僅使電鏡能譜一體機(jī)提供高的臺式掃描電鏡分辨率,同時也使得表面元素分析更加準(zhǔn)確快速。背散射電子圖像用不同的灰度呈現(xiàn)出不同的元素配備的射線探頭,定性半定量探測元素的點(diǎn)、線、面分布。
   臺式掃描電鏡具有飛納系列全自動操作、15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點(diǎn),無需防震環(huán)境,可放置在任意樓層,能譜無外接部件,無需液氮冷卻。臺式掃描電鏡較強(qiáng)的激光會破壞光學(xué)器件,如鏡面,光學(xué)涂層或纖維。為了選擇合適的光學(xué)器件, 發(fā)現(xiàn)多大能量的激光會損害一個組件,或者地改變其光學(xué)特性是十分重要的。
   在進(jìn)行掃描電鏡分析時,為了獲得感興趣區(qū)域佳的圖像效果,必須考慮一些重要的參數(shù)。其中一個很重要的參數(shù)就是加速電壓,它是加在電子槍的陰極和陽極之間,用來加速電子產(chǎn)生電子束的。臺式掃描電鏡加速電壓的選擇與樣品的導(dǎo)電性、放大倍數(shù)及圖片質(zhì)量等因素有關(guān)。一般來說,加速電壓越高,圖像的分辨率越高。
   測試所用到的設(shè)備不同,所得結(jié)果的質(zhì)量以及所遇到的挑戰(zhàn)也就不同。當(dāng)你用光學(xué)顯微鏡工作,你可以得到彩色的低倍數(shù)圖片,但是這些圖片往往分辨率比較低,而你使用更好的設(shè)備,例如臺式掃描電鏡,由于其利用電子成像,可以獲得更高的圖像分辨率和放大倍數(shù),更大的圖像景深,以及物體3D外部形狀的可視化。但是,傳統(tǒng)的掃描電鏡非常昂貴,需要占用大量的空間,并且,操作員需要長時間的培訓(xùn)才能掌握。這就是臺式掃描電鏡出現(xiàn)的原因(替代傳統(tǒng)的落地式掃描電鏡)。 

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