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1)檢查激發(fā)點(diǎn)好壞，激發(fā)點(diǎn)不好無(wú)法給出穩(wěn)定的數(shù)據(jù)。
2)檢查分析表面是否平整，激發(fā)聲音是否異常。
3)檢查氬氣的質(zhì)量。使用氬氣凈化器的情況下，請(qǐng)檢查凈化器是否失效，失效的氬氣凈化器將嚴(yán)重影響氬氣的質(zhì)量，請(qǐng)將凈化器再生或在氣路上短接后，重新打點(diǎn)，沒有使用凈化器的情況下，請(qǐng)更換氬氣，以判斷氬氣質(zhì)量是否有問(wèn)題。
4)檢查電極與樣品之間的距離是否為3毫米，用量規(guī)測(cè)量。
5)清理激發(fā)臺(tái)，排除污染物對(duì)分析的影響。
6)進(jìn)行狹縫校正。
7)進(jìn)行疲勞燈試驗(yàn)，從數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性如何，可以判斷儀器光電系統(tǒng)是否能夠穩(wěn)定工作。注意，疲勞燈在工作半小時(shí)后，才能給出穩(wěn)定的光強(qiáng)。
使用標(biāo)樣分析比對(duì)是佳方法。在沒有標(biāo)樣的情況下，可使用SUS標(biāo)樣進(jìn)行分析，結(jié)果同QA/QC報(bào)告進(jìn)行比對(duì)。進(jìn)行比對(duì)之前必須注意：檢查儀器是否穩(wěn)定。室溫在20℃以上，開機(jī)、通氬氣6小時(shí)以上可以認(rèn)為達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。必須進(jìn)行漂移校正。
Alpha和Beta能客觀的反映儀器的漂移程度。Beta值是一個(gè)接近零的正數(shù)或負(fù)數(shù)；Alpha值是一個(gè)接近于1的正數(shù)，在0.5-3.0之間是可以接受的。兩次漂移校正后，Alpha和Beta值(特別是Alpha)發(fā)生較大的變化時(shí)，在排除操作錯(cuò)誤后，則表明儀器存在問(wèn)題。例如沒有進(jìn)行狹縫校正，入射透鏡太臟，光譜室真空太差等等。這時(shí)，請(qǐng)檢查真空泵是否工作，真空系統(tǒng)是否漏氣。建議每次漂移校正后打印出校正參數(shù)，并妥善保存，這將是日后儀器維修時(shí)的重要參考。
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