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ARMS 在納米光刻及結(jié)構(gòu)色研究中的應(yīng)用

來源:上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司   2018年07月31日 10:57  
 
▌ARMS 在納米光刻及結(jié)構(gòu)色研究中的應(yīng)用
對電子束納米光刻技術(shù)形成的 3D 片層結(jié)構(gòu)及其結(jié)構(gòu)色的角分辨光譜表征


   電子束光刻               蝴蝶翅膀         光子晶體        角分辨光譜     

【概述】納米光刻技術(shù)是制作納米結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ),包括極紫外光刻技術(shù)、電子束光刻技術(shù)、納米壓印光刻技術(shù)等等,是納米光子晶體、超材料、結(jié)構(gòu)色、納米器件等應(yīng)用領(lǐng)域研究的前提。一篇發(fā)表于 Nanoscale,題為《Lithographically generated 3D Lamella layers and its structural color》的文章,報道了一種利用自上而下的電子束光刻技術(shù)加工的 3D 片層結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了類似于 蝴蝶翅膀的結(jié)構(gòu)及顏色 的模擬。
      
大閃蝶蝴蝶翅膀 SEM 圖、本文所加工的 3D 片層結(jié)構(gòu) SEM 圖及設(shè)計(jì)圖
圖1,大閃蝶蝴蝶翅膀 SEM 圖、本文所加工的 3D 片層結(jié)構(gòu) SEM 圖及設(shè)計(jì)圖

本文作者復(fù)旦大學(xué)陳宜方教授通過電子束刻蝕與交替顯影/溶解 (development/dissolution) 加工過程打破了電子束光刻技術(shù)難以實(shí)現(xiàn) 3D 納米結(jié)構(gòu)的這一缺陷,成功的實(shí)現(xiàn)人造蝴蝶翅膀及其絢麗的色彩效應(yīng)。本文描述了作者近期在 3D 納米片層制造過程中所取得的進(jìn)展,利用上述方法將 PMMA/LOR 結(jié)構(gòu)加工成 PMMA/Air 多層結(jié)構(gòu)(圖1),并通過角分辨光譜測量手段研究其顏色特性及技術(shù)細(xì)節(jié)。
      
      【樣品 & 測試】人們普遍認(rèn)為大閃蝶翅膀的藍(lán)色顏色顯示來自于圣誕樹狀的多層膜結(jié)構(gòu)的多重反射(圖1a)。為了模擬蝴蝶翅膀的結(jié)構(gòu),作者采用了電子束曝光的方式(electron beam lithography,EBL),對 PMMA/LOR 多層結(jié)構(gòu)進(jìn)行交替顯影/溶解加工,終形成 PMMA/Air 結(jié)構(gòu)(圖2)。PMMA/LOR 與 PMMA/Air 結(jié)構(gòu)折射率的差異,是成功模擬蝴蝶翅膀顏色顯示的關(guān)鍵因素。 
      
自上而下的電子束光刻技術(shù)及交替顯影/溶解加工過程及工藝參數(shù)優(yōu)化
圖2,自上而下的電子束光刻技術(shù)及交替顯影/溶解加工過程及工藝參數(shù)優(yōu)化

樣品加工過程及相關(guān)參數(shù)如 圖2 所示。首先,將 80nm 厚的 PMMA 及 120nm 后的 LOR 旋涂到硅基底上并進(jìn)行烘烤,形成一個超晶格狀的 PMMA/LOR 多層結(jié)構(gòu)(圖2a)。第二,通過一個電子束微影系統(tǒng)來完成電子束曝光。第三,在 22℃ 下進(jìn)行交替顯影/溶解過程(圖2b-c)。圖2d 為獲得了經(jīng)過加工過的光柵狀 PMMA/LOR 多層結(jié)構(gòu)。第四,利用 60% 的 CD-26 溶液溶解 PMMA 之間的 LOR 層(圖2d-e),創(chuàng)建所需要的 PMMA/Air 多層結(jié)構(gòu)。在 PMMA/LOR 的初階段,PMMA 在 MIBK:IPA(1:3)中顯影處理60s,然后 LOR 在 40% 的 CD-26 溶液中溶解相同的時間。
      
3D 片層結(jié)構(gòu)所形成結(jié)構(gòu)色的光譜特性及光學(xué)成像
圖3,3D 片層結(jié)構(gòu)所形成結(jié)構(gòu)色的光譜特性及光學(xué)成像

PMMA/Air 結(jié)構(gòu)的光學(xué)特性通過光譜測量手段來表征。用于模擬蝴蝶翅膀藍(lán)色的 PMMA/Air 結(jié)構(gòu)(11層)形成的可見光譜如 圖3a-b 所示,在 0~30° 入射光的情況下,樣品的藍(lán)色波段有明顯的強(qiáng)反射峰。藍(lán)色的反射峰在正負(fù) ±10° 范圍內(nèi)保持不變,相比于蝴蝶翅膀具有更好的角度獨(dú)立性,這一情況是因?yàn)槿嗽斓钠瑢咏Y(jié)構(gòu)有很強(qiáng)的規(guī)律性引起的。通過調(diào)整 PMMA/Air 的厚度(15層)還可以產(chǎn)生綠色(圖3c-d)。綠色樣品與藍(lán)色樣品相比,綠色在更寬的角度上保持顏色不變。圖3e 為白平衡嚴(yán)格矯正后的顯微鏡觀察到的樣品表面的顏色特性。上述成果證明了角分辨光譜在片層材料對結(jié)構(gòu)色調(diào)制中的應(yīng)用價值。
      
文章中作者對復(fù)享光學(xué)(ideaoptics)參與光學(xué)實(shí)驗(yàn)測試工作的致謝
圖4,文章中作者對復(fù)享光學(xué)(ideaoptics)參與光學(xué)實(shí)驗(yàn)測試工作的致謝

文章中作者對于樣品光學(xué)特性的實(shí)驗(yàn)研究,尤其是其中的顏色對角度依賴性(angle-resolved)的測試工作,均由復(fù)享光學(xué)(ideaoptics)提供的 角分辨光譜測量系統(tǒng) 來完成的。作者在文章中對復(fù)享光學(xué)參與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)與角分辨光譜測量工作進(jìn)行了致謝。
 
 
【總結(jié)】本文詳細(xì)的描述了作者近在 3D 納米片層制造過程中所取得的進(jìn)展。作者采用了一種標(biāo)準(zhǔn)的自上而下的電子束光刻技術(shù)對 PMMA/LOR 多層結(jié)構(gòu)進(jìn)行交替顯影/溶解加工,形成 PMMA/Air 多層結(jié)構(gòu),成功的模擬蝴蝶翅膀顏色的顯示。優(yōu)化工藝參數(shù),為重復(fù)制造蝴蝶翅膀的片層結(jié)構(gòu)提供了可能。文中可見光范圍內(nèi)的角分辨光譜表征為結(jié)構(gòu)色的應(yīng)用研究提供了有效技術(shù)手段。
      
      【參考文獻(xiàn)】
      ? Zhang, Set al. "Lithographically-generated 3D lamella layers and their structural color." Nanoscale 8.17(2016):9118.  Link 

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