匯眾達(dá)凈化設(shè)備專業(yè)提供凈化工程

    在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在 某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。

    凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間，不論外在空氣前提如何變化，室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機(jī)能。 控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。

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亂流式 　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式合用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。 層流式 　層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一平均之直線型，空氣由籠蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式合用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。

    其型式可分為二種： 　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)峻。 　 (2)垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器籠蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作職員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。 　

復(fù)合式： 　　復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。 　　(1)潔凈地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)進(jìn)步至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)用度。此型式需將功課職員之 工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。 　　(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動(dòng)出產(chǎn)線包抄并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔 凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線為相宜使用。藥品、食物業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均合用。 (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)進(jìn)步為10~1000級(jí)以上，認(rèn)為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

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