光學(xué)平臺(tái)的用途及測(cè)量方法
光學(xué)平臺(tái)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無(wú)損檢測(cè)等領(lǐng)域,以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動(dòng)隔離的關(guān)鍵裝置中。
光學(xué)平臺(tái)追求水平,首先加工的時(shí)候整個(gè)臺(tái)面是極平的。之后臺(tái)面置放與四個(gè)聯(lián)通的氣囊上,以保證臺(tái)面水平。臺(tái)面上布滿成正方形排列的工程螺紋孔,用這些孔和相應(yīng)的螺絲可以固定光學(xué)元件。這樣,當(dāng)你完成光學(xué)設(shè)備的搭建,系統(tǒng)基本不會(huì)受外來(lái)擾動(dòng)而產(chǎn)生變化。即使按動(dòng)臺(tái)面,它也會(huì)因?yàn)闅饽叶詣?dòng)回復(fù)水平。
光學(xué)平臺(tái)廣泛使用的振動(dòng)響應(yīng)傳遞函數(shù)為柔量。在恒定(靜態(tài))力的情況下,柔量可以定義為線性或角度錯(cuò)位與所施加外力的比值。在動(dòng)態(tài)變化力(振動(dòng))的情況下,柔量則可以定義為受激振幅(角度或線性錯(cuò)位)與振動(dòng)力振幅的比值。平臺(tái)的任意撓度都可以通過(guò)安裝在平臺(tái)表面的部件相對(duì)位置變化表現(xiàn)出來(lái)。因此,根據(jù)定義,柔量值越小,光學(xué)平臺(tái)就越接近設(shè)計(jì)的首要目標(biāo):將撓度小化。柔量是與頻率相關(guān)的,其測(cè)量單位為沒(méi)單位力的錯(cuò)位量(米/牛頓)。
光學(xué)平臺(tái)測(cè)量方法
使用脈沖錘對(duì)平臺(tái)或面包板的表面施加一個(gè)已測(cè)量的外力,并將一個(gè)傳感器貼合在平臺(tái)或面包板表面對(duì)合成振動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。
探測(cè)器發(fā)出的信號(hào)通過(guò)分析儀進(jìn)行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學(xué)平臺(tái)的研發(fā)過(guò)程中,對(duì)平臺(tái)表面上很多點(diǎn)的柔量曲線進(jìn)行記錄;但是,平臺(tái)四個(gè)角上的柔量往往都是大的。因此公司發(fā)布的柔量曲線和數(shù)據(jù)都是通過(guò)平傳感器在臺(tái)四個(gè)角上測(cè)得的,因此說(shuō)明了不理想情況下的數(shù)據(jù)結(jié)果。
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