通過(guò)使用µsoft測(cè)量軟件，客戶可以輕松對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析并將其圖形化。這點(diǎn)已經(jīng)在眾多實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用中得到證明。µsoft測(cè)量軟件是NanoFocus激光共聚焦顯微鏡測(cè)量?jī)x器的標(biāo)準(zhǔn)配置。
軟件主界面分為三個(gè)部分，這保證了客戶在分析過(guò)程中能夠隨時(shí)找到所需信息。得益于軟件操作便捷和導(dǎo)航式菜單設(shè)計(jì)，客戶只需要稍加培訓(xùn)即可上手操作。µsoft集成設(shè)備控制功能；因此，同一軟件即可完成從測(cè)量到分析的全過(guò)程。
提供符合標(biāo)準(zhǔn)的各種參數(shù)算法可用于編輯測(cè)量數(shù)據(jù)，如校平，根據(jù)角度和信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行數(shù)據(jù)過(guò)濾以及各種濾波器和插值技術(shù)。軟件包含二維粗糙度（Ra，Rq等）及其派生的三維粗糙度（Sa，Sq等）。位移、位置、高度、角度、形狀和面積的測(cè)量可以直接在2D視圖或剖面圖中進(jìn)行。
測(cè)量結(jié)果包含高度和反射強(qiáng)度數(shù)據(jù)。軟件支持各種顯示模式并且支持快速切換，例如三維形貌、輪廓剖面、照片模擬和三維投影。客戶可以根據(jù)需求建立分析模板，后續(xù)通過(guò)簡(jiǎn)單調(diào)用即可實(shí)現(xiàn)重復(fù)分析功能。
通過(guò)調(diào)整光線強(qiáng)度和角度可以實(shí)現(xiàn)對(duì)各種樣品的上佳化展示；這意味著無(wú)論其表面結(jié)構(gòu)和材質(zhì)如何，客戶都能得到上佳的表面顯示效果。