白光干涉儀普遍應(yīng)用在眾多行業(yè)檢測(cè)中,對(duì)于現(xiàn)代越來(lái)越復(fù)雜的工藝檢測(cè),也是心有余而力不足,德國(guó)NanoFocus AG研發(fā)的3D共聚焦顯微鏡的誕生,二者之間的區(qū)別優(yōu)劣勢(shì)有哪些呢？

白光干涉儀優(yōu)點(diǎn)：

1.大范圍測(cè)量（數(shù)平方毫米）

2.Z軸分辨率能達(dá)到0.1nm，水平分辨率0.3μm

3.快速測(cè)量，10s以內(nèi)，但測(cè)量前需校正傾斜度

NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡：

Z軸分辨率為1nm，沒(méi)有白光干涉儀高，但是測(cè)量到亞微米及以上尺寸時(shí)精度和白光干涉基本相同。

白光干涉儀的問(wèn)題點(diǎn):

a)無(wú)法檢測(cè)到陡峭角度——當(dāng)使用干涉儀測(cè)量陡峭角度的對(duì)象時(shí)，由于干涉圖案集中在這些區(qū)域，無(wú)法準(zhǔn)確的收集信息。（通常傾角35°）

使用白光干涉儀進(jìn)行觀察電磁波干擾導(dǎo)致無(wú)法測(cè)量曲面

NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡優(yōu)勢(shì)

檢測(cè)到陡峭角度大83°——共焦測(cè)距系統(tǒng)，它利用白光反射強(qiáng)度可以測(cè)量有大角度特性的形狀，并且不會(huì)有噪點(diǎn)形狀。

使用共聚焦顯微鏡進(jìn)行觀察光會(huì)穿過(guò)凹槽檢測(cè)曲面

白光干涉儀的問(wèn)題點(diǎn):

a)受表面反射率限制——如果表面反射度不好，測(cè)量是難以執(zhí)行，因此，很多樣品并不能測(cè)量。如果反射光在參考面和測(cè)量面有巨大差異，那么樣品也是不能測(cè)量的。（反射率必須大于4%的樣品才能測(cè)量）

NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡優(yōu)勢(shì):

a)全反射率測(cè)量——可吸收反射光范圍廣，幾乎對(duì)樣品沒(méi)有特殊要求，一般顯微鏡可以看的，就可以看。（反射率0%-100%都能測(cè)量）

如果參考面的反射率為 100%，同時(shí)測(cè)量面的反射率也約等于 100%，則會(huì)顯示清晰的干涉條紋。但是，如果測(cè)量面的反射率僅為 1%，對(duì)比度就會(huì)變得模糊。