激光共聚焦顯微鏡和白光干涉儀的應(yīng)用區(qū)別
白光干涉儀普遍應(yīng)用在眾多行業(yè)檢測(cè)中,對(duì)于現(xiàn)代越來(lái)越復(fù)雜的工藝檢測(cè),也是心有余而力不足,德國(guó)NanoFocus AG研發(fā)的3D共聚焦顯微鏡的誕生,二者之間的區(qū)別優(yōu)劣勢(shì)有哪些呢?
白光干涉儀優(yōu)點(diǎn):
1.大范圍測(cè)量(數(shù)平方毫米)
2.Z軸分辨率能達(dá)到0.1nm,水平分辨率0.3μm
3.快速測(cè)量,10s以內(nèi),但測(cè)量前需校正傾斜度
NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡:
Z軸分辨率為1nm,沒(méi)有白光干涉儀高,但是測(cè)量到亞微米及以上尺寸時(shí)精度和白光干涉基本相同。
白光干涉儀的問(wèn)題點(diǎn):
a)無(wú)法檢測(cè)到陡峭角度——當(dāng)使用干涉儀測(cè)量陡峭角度的對(duì)象時(shí),由于干涉圖案集中在這些區(qū)域,無(wú)法準(zhǔn)確的收集信息。(通常傾角35°)
使用白光干涉儀進(jìn)行觀察電磁波干擾導(dǎo)致無(wú)法測(cè)量曲面
NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡優(yōu)勢(shì)
檢測(cè)到陡峭角度大83°——共焦測(cè)距系統(tǒng),它利用白光反射強(qiáng)度可以測(cè)量有大角度特性的形狀,并且不會(huì)有噪點(diǎn)形狀。
使用共聚焦顯微鏡進(jìn)行觀察光會(huì)穿過(guò)凹槽檢測(cè)曲面
白光干涉儀的問(wèn)題點(diǎn):
a)受表面反射率限制——如果表面反射度不好,測(cè)量是難以執(zhí)行,因此,很多樣品并不能測(cè)量。如果反射光在參考面和測(cè)量面有巨大差異,那么樣品也是不能測(cè)量的。(反射率必須大于4%的樣品才能測(cè)量)
NanoFocus 3D共聚焦顯微鏡優(yōu)勢(shì):
a)全反射率測(cè)量——可吸收反射光范圍廣,幾乎對(duì)樣品沒(méi)有特殊要求,一般顯微鏡可以看的,就可以看。(反射率0%-100%都能測(cè)量)
如果參考面的反射率為 100%,同時(shí)測(cè)量面的反射率也約等于 100%,則會(huì)顯示清晰的干涉條紋。但是,如果測(cè)量面的反射率僅為 1%,對(duì)比度就會(huì)變得模糊。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。