RENNISHAW雷尼紹光柵

附件REE/REF：

REE系列細(xì)分盒為更低等級(jí)的信號(hào)細(xì)分提供簡(jiǎn)單的“即插即用”解決方案。REE系列細(xì)分盒使數(shù)字正交輸出信號(hào)的分辨率提高了至少20倍。REE的三個(gè)模式，設(shè)計(jì)初衷是用于雷尼紹的鋼帶光柵系列，目前經(jīng)過驗(yàn)證也可用于RLE。

提供十進(jìn)制和二進(jìn)制細(xì)分選項(xiàng)

REE和REF是具有創(chuàng)新意義的細(xì)分盒，可提供多種創(chuàng)新功能和x4096的一系列細(xì)分系數(shù)。讀數(shù)頭的光學(xué)濾波系統(tǒng)與接口的自動(dòng)增益、偏置與平衡控制相結(jié)合，可在任意速度下，將周期誤差（電子細(xì)分誤差 - SDE）控制在±50 nm以下。也可提供模擬輸出接口，它使用這種出眾的信號(hào)控制，通過適當(dāng)質(zhì)量的模擬輸入來輸出高精度的1 Vpp信號(hào)。

高速

REE和REF都能產(chǎn)生行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的RS422A高速數(shù)字方波（在0.1 μm分辨率時(shí)為2.8 m/s），并提供多種更高的用戶可選的時(shí)鐘頻率（25、30、50 MHz），以確保與新一代高速主控制器兼容。REE細(xì)分1 Vpp光柵輸出，而REF細(xì)分來自超小型RGH25F和RGH20F讀數(shù)頭的*信號(hào)。

安裝簡(jiǎn)單

REE與REF都具有快速、可靠的校準(zhǔn)步驟，可保證的安裝，還具有監(jiān)控信號(hào)強(qiáng)度的三色LED安裝指示燈。為幫助實(shí)現(xiàn)安裝，在信號(hào)強(qiáng)度到達(dá)100% ±10%時(shí)LED指示燈亮藍(lán)色。還有一個(gè)設(shè)定行，其電壓與信號(hào)幅值成正比，用于遠(yuǎn)程監(jiān)控和診斷。

REF接口特性：
自調(diào)節(jié)主動(dòng)修正
REF接口主動(dòng)修正輸入信號(hào)的瑕疵，從而提高系統(tǒng)精度。主要進(jìn)行以下修正：
自動(dòng)偏置控制 (AOC) - 分別調(diào)整正弦和余弦信號(hào)的偏移量
自動(dòng)增益控制 (AGC) - 確保信號(hào)幅值一致，即1 Vpp
自動(dòng)平衡控制 (ABC) - 調(diào)整增益量，保持正弦和余弦信號(hào)相等
這些修正機(jī)制在讀數(shù)頭整個(gè)工作速度范圍內(nèi)進(jìn)行修正。
用戶可通過按下校準(zhǔn)按鈕3秒以上禁用/啟用AGC。

平面鏡系統(tǒng)性能 

角錐反射鏡系統(tǒng)性能 

Using 20 µm scale
REE0004 - 5 µm resolution
REE0020 - 1 µm resolution
REE0040 - 0.5 µm resolution
REE0100 - 0.2 µm resolution
REE0200 - 0.1 µm resolution
REE0400 - 50 nm resolution
REE1000 - 20 nm resolution
REE2000 - 10 nm resolution
REE4000 - 5 nm resolution
Using 40 µm scale
REE0004 - 10 µm resolution
REE0020 - 2 µm resolution
REE0040 - 1 µm resolution
REE0100 - 0.4 µm resolution
REE0200 - 0.2 µm resolution
REE0400 - 0.1 µm resolution
REE1000 - 40 nm resolution
REE2000 - 20 nm resolution
REE4000 - 10 nm resolution