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掃描隧道顯微鏡利用量子力學(xué)里的隧道效應(yīng)，探針與樣品不接觸，它們之間有一個(gè)勢(shì)壘，因?yàn)橛兴淼佬?yīng)，電子有一定幾率穿過勢(shì)壘形成電流。探針與樣品之間的距離遠(yuǎn)，勢(shì)壘就大，隧道電流就小，電流的大小轉(zhuǎn)化為空間尺度，利用電腦分析就可以得到樣品表面的圖像。掃描探針一般采用直徑小于1nm的細(xì)金屬絲，被觀測(cè)樣品應(yīng)具有一定導(dǎo)電性方可產(chǎn)生隧道電流。為了達(dá)到原子級(jí)分辨率必須保證針尖在樣品表面掃描時(shí)，具有很高的精度和相對(duì)穩(wěn)定性，外界振動(dòng)和電子噪音的隔絕。掃描隧道顯微鏡本身的共振頻率、熱漂移、用作掃描控制器件的壓電陶瓷材料的滯后和蠕變技術(shù)距的表達(dá)和處理。
根據(jù)量子力學(xué)原理，在原子 、亞原子尺度下 粒子存在 波動(dòng)性和不確定性，被束縛在勢(shì)阱中的粒子有可能越過比自身能量高的勢(shì)壘，這種現(xiàn)象稱為隧道效應(yīng)。金屬中的自由電子就是被束縛在勢(shì)阱中的粒子，在外界不提供能量或提供的能量不足以使電子能量超過材料的功函數(shù) ( 逸出功 ) 時(shí)仍有少量電子逸出，在金屬表面附近形成約為1 nm厚的電子云，這就給掃描隧道顯微鏡的隧道電流提供了基本條件。當(dāng)樣品表面和探針針尖的距離小于1nm時(shí)，兩者的電子云就會(huì)有重疊.此時(shí)若在探針和樣品之間加上一定的電壓，就會(huì)形成隧道電流.隧道電流的強(qiáng)度與針尖和樣品之間的距離以及樣品表面的勢(shì)壘高度有關(guān)。當(dāng)在針尖和樣品之間加上偏置電壓時(shí)，電子可以“隧穿”過間隙而形成隧道電流，隧道電流放大器將微弱的電流信號(hào)放大并輸送到反饋電路中，反饋電路將電流信號(hào)轉(zhuǎn)化為STM的圖像信號(hào)，通過計(jì)算機(jī)在屏幕上顯示出來，同時(shí)依據(jù)隧道電流的大小而控制壓電掃描器的運(yùn)動(dòng)。
掃描隧道顯微鏡的出現(xiàn)使人類能夠?qū)崟r(shí)地觀察單個(gè)原子在物質(zhì)表面的排列狀態(tài)和與表面電子行為有關(guān)的物理、化學(xué)性質(zhì)，在表面科學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域的研究中有著廣闊的應(yīng)用前景。
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