表面形貌儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實驗檢測,模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護(hù)成本,從而提率。
表面形貌儀測量原理:
低相干白光同時照射樣品和參考平面,被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收,由于探測器直接與信號處理芯片連接,所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大,背景信號補償和結(jié)果計算輸出,成像于計算機就實現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。
雙模式三維表面形貌儀——共焦
可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù)。
使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭,用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉測量>: 72o vs 44o) 。
具有光學(xué)形貌上zui高的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機, 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌的測量的*配置。
在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制(0.1%- 100%)
應(yīng)用于透明層/薄膜。
兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。
長距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。
*的穩(wěn)定性。
表面形貌儀產(chǎn)品特性:
1、采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級的分辨率。
2、測量具有非破壞性,測量速度快,度高。
3、測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料。
4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面。
5、不受樣品反射率的影響。
6、不受環(huán)境光的影響。
7、測量簡單,樣品無需特殊處理。
8、Z方向,測量范圍大:為27mm。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。