高倍測(cè)量顯微鏡主要用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)的光電產(chǎn)業(yè),為其研發(fā)、制造提供所需的檢測(cè)設(shè)備。具有觀察OLB壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、測(cè)量導(dǎo)電粒子大小、數(shù)量等功能。
主要用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)的光電產(chǎn)業(yè),為其研發(fā)、制造提供所需的檢測(cè)設(shè)備。具有觀察OLB壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、測(cè)量導(dǎo)電粒子大小、數(shù)量等功能。
.產(chǎn)品特點(diǎn):
高倍測(cè)量顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主,也可作三維輔助測(cè)量,應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm
2. X、Y軸采用空氣軸承、花崗石導(dǎo)向,保證了機(jī)械系統(tǒng)的穩(wěn)定,提高了測(cè)量精度
3. X、Y、Z三軸伺服控制,定位精度高、速度快,運(yùn)行平穩(wěn)
4. 同軸光/底光測(cè)量
5. 內(nèi)置偏光測(cè)量光學(xué)模塊
6. 測(cè)量軟件,高清晰1/2"彩色攝像機(jī)
7. 可通過(guò)激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置,可適應(yīng)復(fù)雜工件的測(cè)量
8. 可實(shí)現(xiàn)Z軸自動(dòng)對(duì)焦
9. 具有偏光和DIC檢測(cè)功能
10. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度
規(guī)格參數(shù):
型號(hào) | JTM-6065C | JTM-6090C | ||
工作臺(tái) | 玻璃臺(tái)尺寸(mm) | 690*770 | 640*1070 | |
X、Y運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 600*650 | 600*900 | ||
Z向行程(mm) | 200 | 200 | ||
外形尺寸(mm) | 1500*1350*1510 | 1800*1350*1510 | ||
儀器重量(kg) | 1300 | 1550 | ||
X、Y、Z向分辨力(um) | 0.1 | |||
X、Y示值誤差(um) | E1XY=(2.5+L/200) | |||
物鏡放大倍率誤差 | 包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差:≦0.08% | |||
落射照明光源 | 可調(diào)高亮度LED燈源 | |||
底光照明光源 | 可調(diào)條型光源 | |||
電源 | AC 100V-240V 50/60Hz | |||
氣源壓力 | ≧0.5MPa | |||
空氣流量 | 120L/min(0.4 MPa) | |||
溫度范圍 | 20±2℃<1℃/h <2℃/24h <1℃/m | |||
濕度 | 55%~65% | |||
目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | |||
物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X、20X、50X | |||
目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機(jī) | ||
總放大倍數(shù) |
50X~500X | 140X~1400 (17”顯示囂,分辨率1024*768) | ||
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