隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，微電子、光學(xué)、機(jī)械行業(yè)對超精密加工元件的表面面形精度檢測要求越來越高，工業(yè)生產(chǎn)在線檢測對測量儀器的穩(wěn)定性、便攜性、靈活性和功能性提出了更高的要求。而國內(nèi)現(xiàn)有儀器均局限于實(shí)驗(yàn)室檢測，用于在線檢測的表面三維形貌檢測儀*依賴進(jìn)口，價格昂貴。本作品旨在設(shè)計一款高性能、低成本表面形貌在線檢測儀，滿足相關(guān)產(chǎn)業(yè)檢測需求。基本設(shè)計思路：本作品在Mirau型干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上，改進(jìn)了光機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和軟件算法。在保證精度的前提下，本作品體積減小，穩(wěn)定性提高，滿足了在線檢測的要求。創(chuàng)新點(diǎn)：1、采用光機(jī)電算集成化技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了光機(jī)系統(tǒng)緊湊化設(shè)計，建立了軟件與電路系統(tǒng)通過自反饋矯正系統(tǒng)誤差的機(jī)制，滿足了在線檢測要求；2、測量臺采用背測式結(jié)構(gòu)，具有正置、倒置兩種測量模式，打破了被測元件尺寸限制，可以實(shí)現(xiàn)被測件的快速切換；3、該作品采用重疊平均移相干涉算法和自主開發(fā)的軟件系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)測量過程的自動控制。

在市場需求的推動下，用于工業(yè)生產(chǎn)的干涉儀向小型化發(fā)展，并且對儀器的抗干擾能力、操作簡便性、測量精度、橫向與縱向測量范圍都提出了更高的要求。因此本作品作為一種成本低、功能強(qiáng)的型表面微觀形貌檢測儀器，具有很好的發(fā)展前景。