白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所*的。
白光干涉三維形貌儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。
光學干涉測量法作為一種重要的非接觸表面三維形貌測量手段，具有無損傷、率的特點，長期以來始終是國內(nèi)外高精度測量領域的研究熱點。便攜式光學表面三維形貌在線檢測儀就是基于光學干涉測量法設計的超光滑表面三維形貌檢測儀器，以解決機械、微電子、光學等領域超精密加工元件的高精度在線快速批量檢測問題，例如超大集成電路晶元、LED藍寶石襯底等元件的生產(chǎn)檢測，可應用在芯片、LED、微機械、微光學、航空航天用光學陀螺、強激光、天文望遠鏡等生產(chǎn)與科研領域。