白光干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)(～10-7米)，所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所*的。
白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。
光學(xué)干涉測(cè)量法作為一種重要的非接觸表面三維形貌測(cè)量手段，具有無(wú)損傷、率的特點(diǎn)，長(zhǎng)期以來(lái)始終是國(guó)內(nèi)外高精度測(cè)量領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。便攜式光學(xué)表面三維形貌在線檢測(cè)儀就是基于光學(xué)干涉測(cè)量法設(shè)計(jì)的超光滑表面三維形貌檢測(cè)儀器，以解決機(jī)械、微電子、光學(xué)等領(lǐng)域超精密加工元件的高精度在線快速批量檢測(cè)問(wèn)題，例如超大集成電路晶元、LED藍(lán)寶石襯底等元件的生產(chǎn)檢測(cè)，可應(yīng)用在芯片、LED、微機(jī)械、微光學(xué)、航空航天用光學(xué)陀螺、強(qiáng)激光、天文望遠(yuǎn)鏡等生產(chǎn)與科研領(lǐng)域。