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如何提高光學(xué)平臺系統(tǒng)的穩(wěn)定性

來源:上海復(fù)享光學(xué)股份有限公司   2019年07月12日 15:21  
     如何提高光學(xué)平臺系統(tǒng)的穩(wěn)定性
    隨著*的設(shè)備和工藝的發(fā)展,使納米量級的測量成為可能。例如,變相光學(xué)干涉儀測量物體的表面粗糙度,目前可以達到1納米的分辨率。在半導(dǎo)體領(lǐng)域,已生產(chǎn)出線寬在亞微米量級的集成電路,提出測量準確率小于50納米的精度要求。為了提高光學(xué)平臺系統(tǒng)的穩(wěn)定性,我們可以從以下的幾個方面來著手。
    1、將系統(tǒng)與振源隔離。
    外界的振源來源很多,比如地面的自振,各種聲音等等。但是影響大的是各種低頻的振源,主要集中在10~100Hz頻率內(nèi)。將系統(tǒng)與這些振源隔離可以有效的提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。采用大阻尼的空氣彈簧支撐方式可以較好的將系統(tǒng)與振源隔離。
    2、控制振動的作用。
    將系統(tǒng)組裝成動態(tài)的剛性結(jié)構(gòu)可以保證系統(tǒng)內(nèi)部的相對穩(wěn)定性,且可以降低在外界的影響下產(chǎn)生共振的幾率,提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。
    3、控制靜力矩的作用。
    光學(xué)平臺的硬重比對于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高平臺的共振頻率,從而降低其在外界影響下的振動。而且在外力作用下,具有較高硬重比的平臺可以在小的重量下產(chǎn)生小的變形,增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)的光學(xué)平臺可以充分的提高硬重比,達到提高系統(tǒng)性能的目的。
    4、控制溫度變化。
    隨著時間的延續(xù),不規(guī)則溫度變化會造成漸漸的結(jié)構(gòu)彎曲。減小溫度效應(yīng)的關(guān)鍵在于控制環(huán)境減少溫度變化。例如,避免在平臺下放置散熱設(shè)備,隔絕熱源設(shè)備和硬件,如光源、火焰等。

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