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新型分析儀器-激光光譜原位分析儀的原理分析

來源:鋼研納克檢測技術(shù)股份有限公司   2019年07月22日 10:57  
LIBSOPA-100激光光譜原位分析儀是激光誘導(dǎo)擊穿光譜分析技術(shù)(LIBS)和原位統(tǒng)計分布分析技術(shù)(OPA)結(jié)合的新型分析儀器。激光誘導(dǎo)擊穿光譜原位統(tǒng)計分布分析技術(shù)(LIBSOPA)通過高能激光聚焦于樣品表面,樣品被擊穿形成高溫等離子體,通過檢測等離子體光譜信號,獲得樣品的成分及元素分布信息的技術(shù)。已成功應(yīng)用于鋼鐵材料大尺度的成分、偏析、夾雜等統(tǒng)計分布信息的高分辨分析、汽車鋼板表面缺陷的分析與質(zhì)量控制、各種鍍層和表面處理材料的深度分布分析等領(lǐng)域,分析結(jié)果符合或優(yōu)于國外同功能設(shè)備。

其分析原理是:樣品表面被高能激光擊穿形成等離子體,等離子體光線經(jīng)過濾波,分光之后被多通道的光電倍增管檢測系統(tǒng)檢測。根據(jù)光譜特征譜線波長得出被擊穿位點(diǎn)的元素種類;定標(biāo)后對應(yīng)譜線的強(qiáng)度表示被擊穿位點(diǎn)元素的濃度。借助精密三維移動平臺在樣品激發(fā)表面很好的定位和記錄,實(shí)現(xiàn)任意點(diǎn)掃描,一維線性掃描,一維深度分析和二維面掃描分析,并據(jù)此獲得與材料原位置相對應(yīng)的各元素原始含量及狀態(tài)信息,可以用統(tǒng)計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。該方法不但有激光光譜的非接觸分析,微區(qū)分析,深度分析的優(yōu)點(diǎn),又具備原位統(tǒng)計分布分析技術(shù)的原位性和統(tǒng)計性。LIBSOPA-100的研制成功為材料成分分析,缺陷分析,涂鍍層等樣品的分析應(yīng)用提供了新的技術(shù)手段及質(zhì)量判據(jù)。

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