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光學微球增強技術(shù):顯微技術(shù)和微納加工的新方向

來源:上海復(fù)享光學股份有限公司   2019年07月24日 21:33  
   光學微球增強技術(shù):顯微技術(shù)和微納加工的新方向
  1、衍射極限——光學技術(shù)的桎梏
  從人類對微觀世界的探索開始,衍射極限一直是光學研究中一個繞不開的核心問題。長期以來,衍射極限大大限制了微納光學的發(fā)展進程,因為它從根本上限制了絕大多數(shù)純光學顯微技術(shù)的分辨率。另一方面,衍射極限也是光學加工中的一大挑戰(zhàn)。無論是表面加工技術(shù)、激光直寫,還是光刻技術(shù),其分辨率都受到衍射極限的影響。
  光學微球是挑戰(zhàn)衍射極限的一項重要嘗試。光學微球能夠突破傳統(tǒng)光學器件對光的調(diào)制極限,提供了一種全新的構(gòu)建微納光學系統(tǒng)的思路。這項技術(shù)的誕生可以追溯到2000年,從那以后,各地的數(shù)十個科學團隊都投身于這項技術(shù)的研究之中。新加坡國立大學的洪明輝院士團隊總結(jié)了該領(lǐng)域的各項核心突破、關(guān)鍵技術(shù),以及發(fā)展歷程。相關(guān)的綜述文章發(fā)表于Applied Physics Reviews( 2019年第6期,文章編號021304)。
  2、光學微球的增強效應(yīng)是如何發(fā)現(xiàn)的
  由微觀世界到浩瀚星宇,球形光學器件在人類文明的探索之路上一直都扮演著重要的角色。但光學微球的增強效應(yīng),直到千禧年左右才被科學家發(fā)現(xiàn)。在早期的一系列激光清洗的實驗中,科學家嘗試用激光來清洗硅片上的一些圓形附著物。試驗過后,科學家驚訝地發(fā)現(xiàn)這些圓形附著物下面竟然產(chǎn)生了很多微納米尺度的小孔。而這些小孔的尺寸小可以突破100 納米。
  隨后的一系列研究證明,這些小孔的產(chǎn)生源于圓形附著物對于光的聚焦效應(yīng)。這種聚焦效應(yīng)可以輕易地突破經(jīng)典的衍射極限理論所限制的尺度。這些圓形附著物,其實就是光學微球。而這項源于激光清洗的發(fā)現(xiàn),就像是在密不透風的理論極限上面打破了一個孔,涌出了對新興技術(shù)的無盡靈感和暢想。
  3、光學微球提高微納加工的精度
  光學微球立即被科學家們應(yīng)用于各種微納加工技術(shù),各種新的嘗試層出不窮。起初科學家們通過自組裝技術(shù),將小球散布在樣品表面。通過一次激光照射,就可以加工出成千上萬個微孔。通過連續(xù)改變光照方向,不同的圖案也能夠在微球的周圍被加工出來。
  隨著技術(shù)的推進,科學家們也找到了很多控制微球的方法,比如用光鑷技術(shù)控制一個微球,使其可以像筆尖一樣在樣品表面自由地“書寫”。隨著技術(shù)的演進,一整個小球的陣列可以被加工在一種特殊的透鏡之上。這種微透鏡陣列技術(shù),能夠一次性地對一整個樣品表面進行加工,大大提高了微納加工技術(shù)的速度和精度。
  4、光學微球提高光學顯微鏡分辨率
  “光路是可逆的”,除了用于微納加工技術(shù),光學微球也被證明可以提高絕大多數(shù)顯微鏡的分辨率,而這是評價顯微鏡的一項為重要的指標。在科學*,很多提高分辨率的技術(shù)被視為重要的科學貢獻,相關(guān)技術(shù)也不止一次獲得過諾貝爾獎。在科學家們的努力下,光學微球被證明可以把傳統(tǒng)光學顯微鏡的分辨率提高十倍,可以分辨出小20納米左右的微納結(jié)構(gòu)。和其他顯微技術(shù)相比,光學微球不受限于具體的環(huán)境,不需要對樣品進行預(yù)處理,廣泛適用于無機或有機的所有樣品,能夠一次性對相對大范圍樣品表面進行觀測,不對樣品造成改性或破壞,沒有污染,也支持空氣/水/油/生物體內(nèi)環(huán)境的實時成像。

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