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1、壓縮、預(yù)冷及凈化
原料空氣進入螺桿式空氣壓縮機壓縮到0.7MPa（G）。氧氣液化裝置壓縮后空氣進入空氣預(yù)冷系統(tǒng)把空氣冷卻到8～10℃以下。出預(yù)冷機組后的空氣進入分子篩純化系統(tǒng)，空氣在純化器中脫除H2O、CO2、C2H2及其它碳氫化合物，出純化器的空氣，其露點低于-65℃，CO2含量小于1PPm。
純化系統(tǒng)中的吸附器由二臺立式容器組成，當一臺吸附器由來自冷箱的污氮經(jīng)電加熱器加熱后進行再生和冷吹時，另一臺吸附器進行吸附，兩臺吸附器間的切換由計算機系統(tǒng)控制的氣動碟閥定期完成，吸附劑采用13X分子篩。
2、空氣精餾
氧的制?。?出純化系統(tǒng)的加工空氣分成兩路，其中大部份進入冷箱內(nèi)的主換熱器，在主換熱器中被返流的產(chǎn)品氧氣、氮氣以及污氮等低溫氣體冷卻到接近露點。這些接近露點的空氣進入下塔，在下塔中與下塔的回流液進行熱質(zhì)交換，在下塔的頂部得到純氮，在下塔底部是富氧液空。下塔回流液是由設(shè)在下塔和上塔之間的冷凝蒸發(fā)器提供的。下塔頂部的氣氮進入冷凝蒸發(fā)器冷凝成液氮，作為下塔的回流，同時放出冷凝潛熱使冷凝蒸發(fā)器另一側(cè)的液氧得到蒸發(fā)，成為上塔精餾的熱源。
出純化系統(tǒng)的加工空氣的另一部份，先經(jīng)膨脹機驅(qū)動的增壓機增壓，然后經(jīng)增壓后冷卻器以及主換熱器冷卻，進入膨脹機膨脹，膨脹后空氣入上塔參與上塔精餾。下塔抽出的富氧液空經(jīng)過冷器過冷后進入上塔，是上塔精餾的進料空氣。氧氣液化裝置從下塔頂部抽出液氮，經(jīng)過冷后作上塔的回流。作為上塔精餾的產(chǎn)品，上塔底部產(chǎn)出純度為98%的氧氣，上塔頂部產(chǎn)出氮氣。上塔產(chǎn)出的產(chǎn)品氧氣、氮氣及抽取的污氮均經(jīng)主換熱器復(fù)熱后出冷箱。復(fù)熱后的污氮作為分子篩純化系統(tǒng)用的再生氣及冷吹氣。
3、冷量制取
為了把空氣分離成產(chǎn)品氧氣和氮氣，氧氣液化裝置為了平衡空分裝置的冷損，空分裝置需要冷量。本套裝置的冷量主要是靠膨脹機產(chǎn)生的。出純化系統(tǒng)的空氣的一部份，進入由膨脹機同軸拖動的增壓機增壓，增壓后的空氣經(jīng)增壓后冷卻器，主換熱器冷卻到膨脹前溫度，進入空氣軸承透平膨脹機膨脹，制取裝置所需的冷量，膨脹后空氣進入上塔參與精餾。
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